Spin-Coater操作说明书.doc

Spin-Coater操作說明書 機台外觀 Touch Panel：顯示自動運轉、Data設定、手動操作之選擇Menu。 電源switch：按下switch則燈亮，成為通電狀態。 真空壓力計：試料吸著時之真空壓以Kpa表示 Start Switch：只有在自動運轉時有效，是開始處理動作之按鍵。 （動作中為燈亮狀態） Reset Switch：是為了規避異常發生時之按鍵。 Stop Switch：只有在自動運轉時有效，是中斷處理動作之按鍵。 為燈亮狀態。 Breaker：是主電源投入switch兼用之漏電breaker （感度電流30mA）。 U字trap：真空seal部髒污確認用之透明tube之trap。 VAC（Vacuum）：是試料吸著用之真空接口。 Consent（插座）：是AC100輸入之接口 Cup：Cup由2種的SUS零件、廢液儲存用之下Cup與防止廢液 飛散之下Cup組成。 Stage：是承接work之真空吸著方式。Stage 可裝卸。裝stage 時 請確認stage旁之凹面有進入軸側之凸部。將stage放置在軸上時，會自然下降停止，在這裡輕輕地用手一轉，會咕咚地自動卡入定位。 ( m)停止鍵：按下按鍵則按鍵lock，所有之處理動作將會停止。將按鈕往箭頭方向旋轉則lock解除。 (n)警報器：異常發生時，會響斷續音。按reset 鍵後，斷續音停止。處理完成後之5秒間，終了buzzer也會響。 Fuse Holder（F1-5A）：是用在Sequencer之Fuse。 操作步驟： (I) Touch panel之畫面介紹 (II)DATA設定 a. 在主選單下按DATA SET可看到下面的畫面 program NO﹒對應自動運轉program NO﹒（0~9） 按下▲、▼鍵，選擇program NO 按下▲、▼鍵，選擇program NO﹒後，按SET鍵移往設定畫面 MENU：返回main menu畫面 b STEP NO.：可設定50個STEP SPIN TIME：到達所設定回轉數的時間（輸入最大值為99.9sec） SPIN SPEED：設定每個STEP的轉速（最大轉速8000RPM） Example： 若欲設定兩階段塗佈，第一階段轉速1000RPM，加速度250RPM/SEC，十秒鐘；第二階段轉速4000RPM，加速度500RPM/SEC，三十秒鐘 設定如下： STEP NO SPIN TIME（SEC） SPIN SPEED（rpm） MODE 1 5 1000 0 2 5 1000 0 3 5 0 0 4 8 4000 0 5 22 4000 0 6 5 0 0 7 4 0 9 ◎Program說明： step1：5秒鐘到達1000轉（加速度250 rpm/sec） step2：維持5秒在1000轉 step3：5秒鐘後減速至0轉（減速度250rpm/sec） step4：8秒鐘到達4000轉（加速度500 rpm/sec） step5：維持22秒鐘在4000轉 step6：5秒中後減速至0轉（減速度800 rpm/sec） step7：4秒鐘後結束所有指令 MODE： MODE 0：為常態spin mode MODE 9：表示program end。此時之回轉數、迴轉時間無效 另外在prograqm end之step的前一step，請將回轉數設定為0。 ◎其他： 在回轉數、迴轉時間設定超過3000rpm/sec時，加減速度會被固定在3000rpm/sec 比前一step之回轉數大時，會加速；比前一step之回轉數小時，會減速；相同時，則會定速回轉 MENU：返回main menu畫面 『▼』：返回之前的10個step設定畫面；『▲』：顯示下個10個step之設定畫面 PRG：step NO (III)MANUAL MODE手動操作 回轉速：設定回轉數，輸入最大值為8000rpm 加減速時間：設定加減速時間。此加減速時間乃是從現在之回轉數到設定之回轉數的時 間。加減速超過3000rpm/sec時，加減速被固定在3000rpm/sec 實測值：stage之回轉數以real time顯示 MENU：回到menu畫面 VAC：按下則試料被吸著固定，再按則解除。與start不連動 Start、Stop：spin開始運轉，再按則運轉停止 (IV)AUTORUN：自動運轉執行畫面 SAMPLE放置上頭則「VAC ON」；若要取下則「VAC OFF」 選擇所設定之PROGRAM 回到主畫面 (V)TEN KEY 當欲輸入數