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上海浦东新区张江高科技园区碧波路690 号2 号楼
102 室 （201-203）
TEL: (86)-21-5027-3533 FAX: (86)-21-5027-3733
表面电位显微镜 （KFM：Kelvin Force Microscope）
原理：用由于励振电压的静电力成分的振幅变为零的反馈电压测量表面电位，再进行图像化。
◆用频率ωｒ对导电性悬臂进行强制振动，与此同时对探针与样品之间施加频率ω的交流电压VAC 。
◆从悬臂的输出信号大部分是频率ωｒ的成分，只含有极少量的频率ω的成分。用lock In 放大器提取
频率ω的振动成分A ω。
◆如果使探针与样品之间的静电力达到最小，就能够使A ω＝0。这个状态是，能够实现探针与样品之间
的直流的电位差VDC≡Vs＋Voff 成为零。
◆如果一直反馈控制Voff 保持A ω=0，探针正下方的样品表面的电位Vs 由Vs = -Voff 求出。
◆此类表面电位的决定法一般被称为开尔文法。KFM 是把开尔文法应用在SPM 的测量模式。
【更详细的原理说明】
在探针与样品有交流电场的场合，直流的电位差就算是零，静电力也会工作。在探针-样品之间工作的
静电力Ｆｃ是，直流 电压VDC 与交流电压VAC 、探针与样品之间的静电容量作为C，一般会是以下的情
况。
从上述公式就算是VDC ≡Ｖｓ＋Ｖｏｆｆ ＝０的场合，由于交流电压部分的作用，在探针-样品之间
工作的静电力Ｆｃ不会 变为零。
因为这个静电力成分是作用于探针与样品之间的，所以在 KFM 测量时探针与样品通常被控制为非接触
状态。
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KFM （表面电位显微镜）的实例 张江高科技园区碧波路690 号2 号楼
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样品：钛薄膜上的探针正极 氧化Pattern TEL: (86)-21-5027-3533 FAX: (86)-21-5027-3733
形貌像 KFM 像
自然氧化膜与強制氧化膜的电位 差被测量出约为15mV 。
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