基于labview的单片式晶片自动化电镀设备通信系统.pdfVIP

基于LabVIEW 的单片式晶片自动化电镀设备通信系统 口 明志发 口 郭 帅 口 桂志刚 口 王博文z 1．上海市智能制造及机器人重点实验室 上海 200072 2．上海新阳半导体材料有 限公司 上海 200073 摘 要：介绍 了基于LabVIEW 软件开发的单片式晶片 自动化 电镀设备的控制 系统 ．详细 阐述 了各控制模块之 间的通 信。设备具备即时工作状态显示、完善的工艺数据库管理和详细的历史记录存储等功能。 关键词 ：LabVIEW 晶片电镀 通信系统 中圈分类号：TN919 文献标识码 ：A 文章编号：1000—4998f2015)03—0034—04 随 着科 学技 术 的突 飞猛 进 ，半 导 体 制 造技 术 面 临 种 ：R$232和 R$485。LabVIEW 现 行 的 网络 通 信 方 式 有 日新 月 异 的变化 。半导 体 晶片 电镀 ，就 是在 硅 晶片 、砷 4种 ：① 使 用 TCP