柔性铰链的微动平台设计.pdfVIP

机械设计与制造 第 1期 56 Machinery Design Manufacture 2014年 1月 柔性铰链的微动平台设计 何伟宏，高 健 (广东工业大学 机械装备制造与控制技术教育部重点实验室，广东 广州 510640) 摘 要：根据高性能直线电机直接驱动宏动平台和宏，微双重驱动精密定位机构的要求，基于柔性铰链设计微动平台，实 现大行程纳米级别的分辨率和定位精度；微动平台采用压电陶瓷驱动，安装于宏动平台上；整个宏／微系统采用精密绝对 光栅和精密增量光栅二级位置检测以解决大行程和高分辨在检测上的矛盾问题，以此为位置反馈实现闭环控制。在平台 结构设计的基础上建立系统质量刚度动力学模型，分析平台在阻尼垫块不同的情况的稳定性能。 关键词 ：微动平台；宏微 ／平台；柔性铰链；动力学仿真 中图分类号：TH16 文献标识码：A 文章