无油涡旋真空泵的结构特点和安装维护注意点.doc

无油涡旋真空泵的结构特点及安装维护注意点) 　　清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境.自能够创造真空环境开始,人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果.时至今日,清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点:　　.无油，无摩擦——真空腔内无油，非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空；　　.抽气量大——双涡旋盘，结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源；　　.抽气效率高——带有3-4个抽气单元，压差小；大气与真空之间由O型圈密封，泄漏低；　　.非接触,良好平衡,力矩影响小，噪音低，振动小；　　.结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳；　　.体积小，维修方便，维护费用低；　　.采用空气冷却，无需水冷。　　无油涡旋真空泵应用在　　.半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备；　　.科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；　　.机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备；　　.化学工业；　　．医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备；　　．包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。　　无油涡旋真空泵主要由5个部件组成：　　．动静涡旋盘付与基座；　　．曲轴；　　．密封垫；　　．防自转机构；　　．电机。　　无油涡旋真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交*组装在一 起，两者之间由防自转机构保证180。相位差，这样结合组成的一对涡旋盘付构成了无油涡旋真空泵的基本抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线 (即横截面涡旋线上的几个点)上接触形成对称的几对月牙腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，使静涡旋盘与动涡旋盘的接触点沿涡旋曲面 移动实现吸气、压缩与排气。例如在双级无油涡旋真空泵中，有两个方向对应的静涡旋盘，一个位于两个涡旋盘之间的动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不 断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸人、排气口排出，完成吸气、压缩、排气的循环。曲轴每转一转，就有一组新的月牙腔形成，所以无油涡旋真空泵的吸气、 压缩、排气循环以近1500转/分的频率被连续重复,对被抽气体形成包容和强制输送。　　众所周知，无油涡旋真空泵(Oil free scrloo vacuum pump)与普通油真空泵相比具有显著的特点。下面以普通旋片真空泵为例，说明其差别：　　无油涡旋真空泵的主要优点主要包括：　　.密封性良好,没有向机械泵那样直接连接吸、排气腔的泄漏通道,容易密封,容易达到较高的真空度；　　.回转半径小，动静涡旋盘相对滑动速度仅为旋片真空泵的1/7左右，动静涡旋盘之间的动密封相对容易，有利于延长泵的使用寿命；　　压缩进程必较缓慢，有2个或者3个压缩过程同时进行，压缩腔相对曲轴对称，这样泵的运转过程平稳、驱动力矩和气体冲击波动小，使泵的噪音和振动降低。　　总而言之，无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少，由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小,振动噪声低，可*性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。　　由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油问题。真 空镀膜设备的镀膜工艺中，在20～40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜质量。半导体 晶片制造工艺当中使用油泵与使用于泵相比，成品率存在明显的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染.科学仪器行业尤其是在分析测试仪器行业，采用油泵对 测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用无油涡旋真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外无油涡旋真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的 环境污染与烦恼。现有无油涡旋真空泵用户的使用情况也证明了这种泵的优越性。　　为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子；系统运行过程当中还需要定期清洗除油；有的需要定期更换真空泵油. 采用无油涡旋真空泵第一部需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要更换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用 范围的限制。这些优点使无油涡旋真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。　　无油涡旋真空泵主要部件为涡旋盘付\曲轴和密封垫.该泵的抽气——压缩——排气机理是在