周莹-计量院-加速电压的选择对fesem图像的影响.pdfVIP

加速电压的选择对 FESEM 图像的影响 1 1 2 2 2 2 周莹 ，王虎 ，吴伟 ，刘紫微 ，林初城 ，华佳捷 1 （上海市计量测试技术研究院，上海，201203；  2 中国科学院上海硅酸盐研究所，上海，200050 ）  摘 要：场发射扫描电子显微镜（FESEM）不仅可以对材料显微结构进行表征，同时还能定性、定量地获 得材料微观区域内的化学成分和结构信息，是目前国内外广泛应用于材料领域的显微结构分析手段。加速 电压对图像质量影响较大。低加速电压下，入射电子能量较低，空间分辨率提高，可以增强样品表面信息 量、减少荷电现象、减少对样品的损伤；高加速电压下，入射电子能量较高，图像分辨率较高，且有利于 忽略样品表面有机污染物信息，有利于显示样品成分信息。因此，在实际工作中，需要根据样品的特点和 检测要求选择合适的加速电压，以期提高扫描电镜图像质量。 关键词：  场发射扫描电镜；加速电压；分辨率；