Thermal Etching Characteristics of AgInSbTe Phase Change Film 英文论文文献.docVIP

第 27卷第 6期 2012年 6月 无机材料学报 Vol. 27 No. 6 Jun., 2012 Journal of Inorganic Materials 文章编号: 1000-324X(2012)06-0620-07 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.00620 AgInSbTe 相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性 李豪 1, 2,耿永友 1, 吴谊群 1, 3 (1．中国科学院上海光学精密机械研究所 ,上海 201800; 2.中国科学院研究生院,北京 100039; 3.黑龙江大学 教育部无机功能材料化学重点实验室 ,哈尔滨 150080) 摘 要:研究了 AgInSbTe相变薄膜作为一种新的热刻蚀材料的腐蚀特性。采用射频磁控溅射的方法在室温下制备 了非晶态 AgInSbTe薄膜,经真空加热退火晶化 .以氢氧化钠溶液作为腐蚀剂 ,研究了退火温度、腐蚀剂浓度、腐 蚀时间对晶态、非晶态 AgInSbTe薄膜腐蚀特性的影响 .结果表明:以非晶态形式存在的沉积态 AgInSbTe薄膜在 0.001 mol/L氢氧化钠溶液中腐蚀速度小于 0.04 nm/min,退火晶化后,薄膜的腐蚀速度大幅度提高 ,晶态和非晶态 薄膜的腐蚀选择