微装配系统结构设计及位移台误差分 析.pdfVIP

机械设计与制造 第 1期 128 Machinery Design Manufacture 2014年 1月 微装配系统结构设计及位移台误差分析 张嘉易，路 超，郝永平 (沈阳理工大学 辽宁省先进制造与装备重点实验室，辽宁 沈阳 110159) 摘 要：针对平板类微小零件装配特点，设计了一套基于真空吸附的微装配系统平台。采用真空吸附式微夹持器实现零 件的夹持、释放，采用双CCD摄像头实现对零件的位姿识别，采用定位精度在 (4～6)p．m的位移台实现零件的定位。分析 了位移台误差的来源，重点计算了位移台中步进电机和丝杠的累积误差，计算结果为(±1．405)bum，可以达到位移台的精 度要求。重复定位精度对位移台精度起着重要的作用，以位移台中光栅尺为基准进行闲环控制，通过大量实验验证位移 台的重复定位精度小于3bum。 关键词：微装配；真空吸附；位移台；累积误差；重复定位精度 中图分类号：TH16；TP705 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2014)01—0128—03 StructureDesignofMicro-AssemblyandErrorAnalysisofDisplacementInstrument ZHANGJia—yi，LU Chao，HAOYong—ping (KeyLaboratoryofAdvancedManufactureandEquipmentofLiaoningProvince，ShenyangLigongUniversity，Liaoning Shenyang110159，China) Abstract：Aimingatthecharacteristicsofflatandsmallpartsassembly，asetofmicro-assemblysystemsplatformbasedon vacuum suctionisdesigned．Thevacuum adsorptionmicro-gripperpratsrealizeclampingandplacing．Thedouble CCD camerasachievetheposeandpositionparmaetersrecognition．Positioningaccuracyofdisplacementinstrumentintheof (4- 6)lxm ／susedtopartorientation．Errorsourceofdisplacementtableisintroduced，anditemphaticallycalculatesthe accumulatederrorofsteppermotorandleadsscrewinthedisplacementtbale．Thecalculatedresultsis (±1．405)txmwithina reason~lernage．There—orientationaccuracyplaysimportantroleinaccuracyofdisplacementinstrumentbasingontheclose load controlofgrating，nadthere-orientationaccuracyoflessthan3txmisverftiedbylotsofexperiments． Key Words：M icro-Assembly；Vauum Adsortption；DisplacementInstrument；AccumulatedError；Re--Orientation Accuracy 1引言 是整个系统的核心部分，控制系统根据观测系统所获得的图像信 息，做出逻辑决策，从而指导并驱动器件做出相应的动作、控制零 随着现代装