新型真空传输机械手设计研究.pdfVIP

第6期 机械 设计 与制造 2013年 6月 Machinery Design Manufacture 197 新型真空传输机械手设计研究 李学威，冯亚磊，马 壮，王凤利，张金果 (新松机器人 自动化股份有限公司，辽宁 沈阳 110168) 摘 要：作为半导体行业的关键元件，晶圆对晶圆传输机械手的要求非常高。针对传统真空机械手在刚度、洁净度及寿命 等方面的不足，提出一种新型连杆式真空传输机械手结构，可实现平面内任意直线轨迹规划运动，不仅结构简单，洁净度 高，而且有效的提高了刚度及使用寿命。同时，根据真空传输机械手的结构建立其分析模型，推导运动学公式，对机械手 驱动臂同步控制运动及电机同步控制精度进行了仿真分析，阐述了插值次数与运动精度之间的联系并优化得到最佳插 值次数，为真空机械手机构的优化设计和平稳控制提供 了理论基础 关键词：晶圆；真空传输机械手；控制特性；轨迹规划；同步控制；运动精度 中图分类号：TH16；TP242．202 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2013)06—0197—03 ResearchforNewTypeVacuum TransmissionManipulator LIXue—wei，FENGYa—lei，MAZhuang，WANGFeng—li，ZHANGJin-guo (SiasunRobot＆AutomationCo．，Ltd，LiaoningShenyang110168，China) Abstract：Asakeyelementinthesemiconductorindustry，the rputsforwardveryhighrequestforthe qrtransfer robot．hpresentsanewtypeofmanipulatoraimingatfedisadvantageo／’traditionalu(wuumtransmission,manipulatorinterrns ofstfifness，clenaliness， ，．etc，whichVnarealizemovingalonganystraightlinesintheplnae，肌 therobotnotonlyhas simplestructureandhigherclenalinessbutalsoimprovetherigidityandworkingf oftherobot．Morevoer，thekinematics formulasolederivedbased0t2theanalysismodelofthevacuumtransmissionmnaipulator，menawhilethesimulationnaalysis rthesynchronousmotioncontrolnadcontrolaccuracyoftherobotclrmiscarriedon，andthebestinterpolationnumbersi derivedaccordingtonaalysistherelationshipbetweentheinterpolationnumberandthemotionprecsiionoftherobot， providingthetheoreticalbasisfortheoptimziationdesignnadsteadycontrolofthemnaipulator． KeyWords：Wafer；VacuumTransmissionManipulator；ControlCharacteristics；TrajectoryPlanning；Synchroniza- tionControl；M otionPrecision 1引言 行了分析，为真空传输机器手的实际应用提供了较好的理论基础。 晶圆是半导体行业的关键