晶圆对心转台亚微米级径跳误差补偿方法.pdfVIP

维普资讯 学兔兔 第44卷第9期 机 械 工 程 学 报 Vo1．44 No．9 2008 年 9 月 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING Sep． 2008 DoI：10．3901／JM E．2008．09．123 晶圆对心转台亚微米级径跳误差补偿方法水 黄春霞 曹其新 付 庄 冷春涛 f上海交通大学振动冲击噪声国家重点实验室 上海 200240) 摘要：为了消除转台径跳误差对晶圆预对准台重复性定位精度的影响，提出径跳误差的在线检测与补偿方法。转台上方并与 之一起旋转的心轴作为转台径跳的检测元件，电涡流传感器测量心轴径向距离，其测量值由固定误差和径跳误差组成，借助 集合平均法或者转台径跳特性，离线求解固定误差，据此在线工作时从电涡流传感器数据中分离出径跳误差。利用该误差对 激光位移传感器检测的晶圆边缘数据进行径跳误差补偿，分析误差特性，据此简化补偿算法。试验证明，径跳误差补偿方法 的使用提高了系统的预对准精度，并最终使系统达到了微米级的定位精度要求。 关键词：晶圆预对准台 电涡流传感器 径向跳动误差 误差补偿 中图分类号：TG156 SubmicronRadialRunoutErrorCompensationM ethodforthe TurntableinaW aferPrealigner HUANGChunxia CAOQixin FUZhuang LENGChuntao (StateKeyLaboratoryofMechanicalSystemandVibration，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240) Abstract：Inordertoeliminatetheinfluenceoftheradialrunouterroroftheturntableontheprealignmentprecisionofawaferpre— aligner，anon·linedetectionandcompensationmethodfortheerrorisproposed．Themandrelaboveandrotatingalongwiththeturn· tableistakenasthedetectingcomponentoftheradialrunout，andtheradialdistanceofthemandrelisdetectedbyavo~exsensor． Thesensor’Smeasurementvalueconsistsoffixederrorandradialrunouterror，theformerissolvedoff—linebymeansofensemble averagemethodorradialrunoutfeautresoftheturnatble，basedonwhichtheradialrunouterrorisseparatedfrom thedataofhte vortexsensorwhenworkingon-line．Theradialrunouterrorisusedtocompensatetheperipheraldataofthewafrdetectedbyalaser displacementsensorwiththecompensationmethodsimplifiedaccordingtotheerrOrfeatures．Theexperimentationhasproved that theuseoftheradialrunoutcompensationmethodhasimprovedtheprealing mentprecisionofthesystem andmadeitmeetthere—