紫外衍射微透镜阵列的设计与制备.pdfVIP

上海 理 工大学学报 第33卷 第2期 J．UniversityofShanghaiforScienceandTechnology Vo1．33 No．2 2011 文章编号 ：1007—6735(2011)02—0174—05 紫外衍射微透镜阵列的设计与制备 张 伟 ， 李 毅 ， 张 虎 ， 黄毅泽 ， 朱慧群。， 孙若曦 (1．上海理工大学 光电信息与计算机工程学院，上海 200093；2．上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室，上海 200093 3．五邑大学 薄膜与纳米材料研究所，江门 529020) 摘要：通过研究互相关联的光学和工艺参数，用标量衍射理论设计了用于 128X1日盲型紫外探测 器的衍射微透镜阵列，其工作中心波长为400nm，单元透镜F数为．厂／5，．厂为焦距．采用组合多层镀 膜和剥离的工艺方法制备微透镜阵列，对工艺流程和制备误差进行了分析，对制备出的 128×1的 衍射微透镜阵列的光学性能进行测量和分析．实验结果表明，衍射微透镜阵列的衍射效率为87％． 制备误差主要来 自对准误差和线宽误差．紫外衍射微透镜阵列的整体性能满足了微透镜阵列与紫 外焦平面阵列的单片集成要求． 关键词：紫外；微透镜阵列；菲涅尔波带片；组合多层镀膜与剥离 中图分类号：TN43；TN213 文献标志码 ：A Ultravioletdiffractivemicrolensarraydesignandfabrication ZHANGWei， LIYi ， ZHANGHu，HUANGYi-ze，ZHUHui．qun3， SUNRu~xi (1．SchoolofOptical—ElectricalandComputerEngineering，UniversityofShanghaifoScienceandTechnology， Shanghai200093，China；2．ShanghaiKeyLaboratoryofModernOpticalSystem， UniversityofShanghaifoScienceandTechnology，Shanghai200093，China； 3．InstituteofThinFilmsandNanomaterials，WuyiUniversity，Jiangmen529020，China) Abstract：Diffractivemicrolensarraysfor128x1solar-blindUv photodetectorsweredesignedusing scalra diffractiontheorybyconsideringhteinterrelatedopticalandprocessparameters．nleworkingcenter wavelenghtis400nm。htelensFnumberisf／5．Themicrolensarrayswerefabriactedbyuseof ocmbinationmulti-coatingsandstrippingtechnique，htepractiaclprocesessandfabriaction errorswere discussed，and hteoptiaclcharacteristicsof128X 1diffractivemicrolensarraysweremeasuredand analyzed．Experimentalresultsshow thatthediffraction efficiencyof htediffractivemicrolensarray is 87％．n 1efabriaction errorscomefrom hte alignmenterrorandhte linewidth error． e overall performanceofultravioletdiffractivemicrolensarrayacnmeetthemonolithicintegrationrequirements of themicrolensarmywiht hteulrtavioletfocalplan