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ZrO2：TiO2复合纳米纤维湿度传感器的直、交流特性研究
第24卷 第 12期 传 感 技 术 学 报 Vo1．24 No．12
2011年 12月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Dec．201l
StudyontheDC andAC PropertiesofHumidi
BasedonZrO2：TiO2CompositeNanofibe
SUMeiying，WANGjing ，YAOPengjun，LIXiaogan，HAOYuwen
r1．SchoolofElectronicScienceandTechnology，Dalian ofTechnology，DalianLiaoning116023，China； 、
I2．SchoolofEducationalTechnology，ShenyaagNormalUniversity，Shenyang110034，China； l
． SchoolofInformationandCommunicationEngineering，DalianUniversityofTechnology，DalianLiaoning116023，China)
Abstract：A capacitivehumidity sensorwasfabricatedbasedon ZrO2：TiO2compostienanofibers
． Thehumidity
sensorexhibitshighsensitivityandgoodlinearityat100Hzofmeasurement~equencyofwhichcapacitancevaried
fourordersofmagnitudefrom 20pFto1．5xl0 pFinthehumidityrangeof11％ ～98％ RH．Inpresentpaper． the
humiditysensingmechanismsofthesensorwerediscussedbyanalyzingdcproperties(current-voltagepropertiesand
transientwithreversingdcbiaspolarity)andacproperties(compleximpedance)ofthesensor．Thetypeofcarriersof
thesensoratdifferentRHwasofundviatransientioniccurrentbyreversingdcbiaspolarity．Equivalentcircuitsof
thesensorfordifferenthumidityrangeswerecreatedbasedon thecorrespondingcompleximpedanceplots and
，
simulatedbyusingthesoftwareZView．Constantphaseelement(CPE)andWarburgimpedancewereintroducedand
usedtoanalyzetheinfluenceofions，electronsanddipolesinthehumiditysensingprocessofthesensorandina1．
ternating．currentfield．
Keywords：humiditysensor；c0mpositenanofibers；ZrO2：TiO2；dcproperties；acproperties
EEACC：7230L doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2011．12．005
zrO2：TiO2复合纳米纤维湿度传感器的直、交流特性研究米
苏梅英 ，王 兢 ，姚朋军 ，李晓干 ，郝育闻
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