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基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究.pdfVIP

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  • 2017-05-08 发布于河南
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基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究.pdf

    基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究

    第23卷 第 11期 传 感 技 术 学 报 Vo1．23 No．11 2010年 11月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS NOV．2010 TheReseach ofM EM SInfraredRadiationSourceCharacteristicsBased onTwo-DimensionalM etallicSub-W avelengthHoleArrays YA0Xiang ，XIAOGongli， Xinming ，ZHOUJia ， BAO Zongming ，HUANG Yiping ，1．TheStateKeyLaboratoryofAS1C stern，DepartmentofMicroelectronics，FudanUniversity，Shanghai200433，China．＼ ＼2．，JrmationandCommunicationsCollege，GuilinUniversityofElectronic

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