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一种 90°分布式 MEMS 移相器的设计 王倡献，熊祥正，肖华清 （西南交通大学电磁所，成都，610031） 摘要：RF MEMS 移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、 易于集成等突出优点。通过在共面波导信号线上贴敷低介电常数的薄层绝缘介质,使得 MEMS 金属桥与共面波导信号线在“关”态下形成 MIM 电容的方法,实现了提高“关”“开” 两种状态下的电容比,从而提高了单位长度上的相移量。在 Ka 波段下，建立 90°分布式 MEMS 移相器的等效电路，并对其进行了仿真优化，达到要求的技术指标。 关键词：RF MEMS ；分布式MEMS传输线；MEMS 金属桥 中图分类号:TN623 文献标识码:A A 90。Distributed MEMS phase shifter theoretical analysis and numerical simulation Wang Chang-xian ，Xiong Xiang-zheng ，Xiao Hua-qing