76MHz激光扫描声学显微镜的研究和试制.pdfVIP

1 95 　　　　 V o .l 19 N o. 5 199710 P IEZO E LE CT R ICS A CO U ST O O PT ICS O ct. 1997 　 76MHz* * * 王亚非 　袁敬闳　陈瑞征　莫怀德 , , 6 10054) 　 76M H z, 。, 30μm, 2mm , 3 mm× 4 mm , 。 。 　, , Research and Development of a Scanning Laser AcousticM icroscopeOperating at 76 MHz W ang Yafe　i 　Yuan Jinghong　　ChengRuizheng　　M oH uaide D epartm en t of O p to-E lectron ic T ech no