PMMA成膜特性的研究.pdfVIP

第37卷 ，第4期 安 徽 化 工 Vo1．37．No．4 2011年 8月 ANHUICHEMICAL INDUSTRY Aug．2011 PMMA成膜特性的研究 夏安华，李广强 (安庆新曙光精细化工有限公司，安徽 安庆 246000) 摘要：研究 了PMMA膜的成膜方法 、成膜特性以及作为气敏材料的应用。实验结果表明，PMMA的表面粗糙度与转速密切相关，转速越 大，表面粗糙度越小。PMMA的膜厚符合液体动力学方程，旋涂速度越大，膜厚越薄。当旋涂速度为6000rpm时，可得到厚度为42nm的 PMMA膜 ，完全符合气敏材料对膜厚的要求。 关键词：聚甲基丙烯酸甲酯；表面粗糙度；膜厚；气敏材料 doi：10．3969~．issn．1008-553X．2011．04．018 中图分类号：TQ325．7 文献标识码：A 文章编号：1008—553X(2011)40—0049—03 1前言 板(大迈仪器上海有限公司)。 聚甲基丙烯酸 甲酯 (P0lvmethy1methacrylate，简称 AR—P639．04型 PMMA乳酸 乙酯溶 液 (德 国 PMMA)作为一种典型的有机聚合物材料 ，因其具有很 ALLRESISIT公司)，分子量 50K(相对分子质量)，密度 好的化学稳定性和光学特性，在非线性光学、工业有机 0．97g／cm，黏度 2．2mpa．s；K9玻璃(南通振华光电有限 玻璃以及气体传感器等方面都具有重要的应用 【卜引。气体 公司)，尺寸为20mm×10mm×1．5mln；98％浓硫酸；去 传感器可用于探测挥发性有机气体如醇类、苯类以及氯 离子水；99．99％乙醇；丙酮等。 仿等，一般包含三大部分，即气敏元件、转换元件 以及转 2．2实验方法 换电路 。PMMA材料因其对氯仿、甲苯以及二甲苯等有 (1)清洗。玻璃基底的清洗分为3步：首先将 K9 独特的吸附作用而成为一种常用的气敏材料f3]。 玻璃置于98％的浓硫酸中，利用磁力搅拌器搅拌加热至 气体传感器的传感性能与气敏材料的特性息息相 80~C，并保持温度恒定约 3O分钟 ；然后取出K9玻璃， 关同。传感灵敏度不仅取决于气敏材料对某种气体的选 用去离子水冲洗 ；最后分别先后浸泡于乙醇和丙酮溶液 择性吸附能力，还取决于气敏材料的结构与厚度。为了 中超声振荡约5分钟，取出待用。 提高气体传感灵敏度和选择性，人们往往对气敏材料本 (2)PMMA成膜。利用微量注射器(约50ixL)抽取 身的合成以及化学性能进行深入研究，而缺乏对气敏成 PMMA溶液 ，平铺于干净的K9玻璃基底上 ，放置于旋 膜方法及成膜特性的研究。 涂机上进 行旋涂 ，控制转速 分别 为 3000rpm至 本文针对 PMMA在氯仿传感 中的应用 ，阐述 了 6000rpm，旋涂时间为3O秒。 PMMA膜的制备方法，对制备过程中的关键技术如旋涂 (3)烘干。由于PMMA具有一定的吸水性，因此为 速度与膜厚的关系以及成膜后的表面形貌进行了研究， 了保持PMMA膜的固定 ，需对其进行加热烘干。将含有 并给予了理论解释。对PMMA成膜特性的研究，有助于 PMMA膜的样品放置于加热板上，设置温度为 80~C，时 进一步提高PMMA对氯仿的吸附能力 ，为提高气体传 间为 3小时。 感器灵敏度和选择性创造了条件。 (4)测试 。将加热烘干后的PMMA膜样 品利用 2实验部分 ZYGO轮廓仪测量其膜厚及表面形貌，并记录。 2．1仪器及药品 3结果与讨论 KW型旋涂机 (