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80 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2015年 第34卷 第8期 DOI：10．13873／J．1000--9787(2015)08--0080--03 基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备 杨翰林 ，陈 达 ，刘一剑 ，沈 勇 ，张亚非 (1．上海交通大学 电子信息与电气工程学院。上海200240； 2．山东科技大学 电子通信与物理学院，山东 青岛266590) 摘 要：研制了一种基于薄膜体声波谐振器 (FBAR)的生物免疫球蛋白传感器 ，该FBAR采用A1N作为压 电层，3对 T w金属层作为布拉格声学反射层，工作频率为2．047GHz，回波损耗为--32dB。利用自组装 膜法修饰顶部金电极敏感区域。测试了免疫球蛋白G抗体和抗原的特异性结合前后传感器的指标变化。 结果得到传感器的Q值和灵敏度分别达到846，3．38kHz·am。／ng，远高于广泛使用的石英晶体微天平 (QCM)，具有广阔的应用前景。 关键词：薄膜体声波谐振器；自组装膜法；生物传感器 中图分类号：TP212．3 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2015)08-0080-03 1 … ■ J ■ ■ ● - l - l l — l 。aDricatlOn OIlm m Une I~loDulin Sensor DaSec10n nlm bulk ac0ustiCresonator YANGHan．1in，CHENDa，LIUYi-jian，SHENYong，ZHANGYa．fei (1．SchoolofElectronics，InformationandElectricalEngineering，ShanghaiJiaoTongUniversity， Shnahgai200240，China；2·CollegeofElectronic，CommunicationnadPhysics， ShandongUniversityofScienceandTechnology，Qingdao266590，China) Abstract：Animmuneglobulin(IG)sensorbasedonthinfilmbulkacousticresonator(FBAR)ispresented， whichworksat2．047GHzwith --32dB return loss，consistingofanA1N piezoelectricstackandthreepairsof T W Braggreflector．Self-assembledmonolayers(SAMs)areappliedtomodifythetopAuelectrodesensitive raea．IndexchangesofsensorbeforeandaftercombinationofantigenandantibodyofIGraetest．The0factorof sensoriScalculatedashighas846andthesensitivityasabiosensorcanreach3．38kHz ·cmk／ngwhichmuch higherthanthatofQCM．Throughtheantibodydetectionexperiment，theFBARisprovedtohavethepotentialof exhibitingamorecrucialeffectinthebiosensorfield．