磨料与工件对集群磁流变效应抛光垫磨粒“容没”效应的影响.pdfVIP

第 1O期 组 合 机 床 与 自动 化 加 工 技 术 No．1O 2014年 10月 M odularMachineTool AutomaticM anufacturingTechnique oct．2014 文章编号：1001—2265(2014)10—0023—04 DOI：10．13462／j．cnki．mmtamt．2014．10．007 磨料与工件对集群磁流变效应抛光垫磨粒 容‘没”效应的影响术 白振伟 ，周旭光 ，阎秋生 ， (1．广东工业大学机 电工程学院，广州 510006；2．深圳职业技术学院机 电工程学院，广东 深圳 518055) 摘要：磁流变液在外加磁场的作用下，在抛光盘与工件表面之间形成粘弹性集群磁流变效应抛光垫 产生磨粒 “容没”效应，本文以加工工件表面粗糙度R 与表面形貌为指标，通过在磁流变抛光液 中掺杂粗大磨粒对无表面损伤的单晶硅片、K9光学玻璃、碳化硅晶片进行抛光实验 ，讨论磨料种类、 工件材质对群磁流变效应抛光垫磨粒 “容没”效应作用的影响。实验结果表明：集群磁流变效应抛光 垫对金刚石与氧化铈磨粒均表现出显著的 “容没”效应效果。当抛光单晶碳化硅 晶片时，相 比金刚石 磨粒 ，集群磁流变效应抛光垫 “容没”氧化铈磨粒的效果更佳。而当工件的硬度接近主体磨粒的硬度 时，集群磁流变效应抛光垫将表现出更加显著的 “容没”效应效果。 关键词：磁流变效应抛光垫；磨粒 “容没”效应；损伤；表面粗糙度 中图分类号：TH162：TG506 文献标识码 ：A hlnuenceofAbrasivesandW orkpiecesonAbrasiveAccommodate-sinking EffectofClusterM R-effectPad BAIZhen．wei ．ZH0UXu—guang．YANQiu·sheng (1．SchoolofElectromechanicalEngineering，GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou510006，Chi- na；2．SchoolofMechanicalandElectricalEngineering，ShenzhenPolytechnic，ShenzhenGuangdong518055， China) Abstract：Underthemagnetorheologicaleffect(MR—effect)，MRfluidwihtabrasivesbehavesasBingham liquid．andaviscoplasticclusterMR—effectpadisformedpadbetween hte surfaceofpolishingplateand workpiece．A modelforaccommodate—sinkingeffect(AS—effect)ofMR—effectpadispresentedbasedhte polishingprocess．A seriesofexperimentswereperformedtostudyhteinfluenceofabrasivekindandwork- piecematerialonAS—effect，andthesurfaceroughnessnadmorphologyofhtemachinedsurfacewereinves— tigated．ExperimentalresultsofundMR．effectpadhasaprominentASeffectonabrasivesandhtemachined surfacedamagecausedbynon．uniofrmityofabrasiveparticlesizecanbereducedoreliminated．Itisindica- tedhtatabeRerAS—effectofMR—effectpadonrog