4机械量测量.doc

4 机械量测量 4.1 概述 机械量测量是指非电量测量，测量范围涉及尺寸、位移、速度和力学量等几个方面。 尺寸包括长、宽、高； 位移包括直线位移和角位移； 速度包括直线速度、角速度和转速； 力学量包括力、力矩、加速度和振动。 机械量测量的应用极为广泛， 电厂中涉及到的参数： 如振动、膨胀、转速、位移等量所处的环境比较复杂，对各种机械量传感器的要求也存在很大的区别。 典型的机械量测量传感器有电阻、电容、电感、涡流以及磁电、压电、压磁、光电、霍尔元件等，此外还有超声波、放射线等。目前，随着传感器技术的发展，一些新型传感器不断出现，如电荷耦合器件图像传感器（CCD）、光纤传感器以及基于微电子机械系统（MEMS）技术的传感器等。 通常同一个机械量可以用不同类型的传感器进行测量，例如，位移可以用电阻、电容、电感、光电式传感器进行测量，而某一种原理的传感器又可以用来测量不同的参数，例如电感传感器可以用来测量位移、力、振动等。 4.2 位移测量 常见的位移传感器有电容式、光纤式、电感式、差动变压器式和CCD图像传感器等。随着电子技术的发展，一些新型高精度、大尺寸、数字式位移传感器和相继问世，如光栅、磁栅和感应同步器等。 4.2.1 电容式位移传感器 电容式位移传感器实际是将被测的位移量变化→电容器的电容量变化。 优点：结构简单，动态响应好，能实现无接触的测量，灵敏度高，分辨力强，能测量0.01μm 甚至更小的位移。 问题：电容式传感器本身的电容量一般很小，会带来了一系列问题，例如由于寄生电容影响，容易受外界干扰等。 但随着集成电路技术的发展，这些缺点正不断得到克服，因此电容式传感器不但用于位移、角度等机械量的精密测量，还逐步扩大到应用于压力、压差、液面、料位、成分含量等诸多检测领域。 1）工作原理与结构形式 以空气为介质，两个互相绝缘平行金属板组成的平板电容器如图4.1所示，它的电容量在不考虑边缘电场的影响时可用下式表示： （4-1） 可见，电容量是ε，A和δ的函数。当任一参数发生变化时，电容量C也随之改变。 可分为变极距式、变面积式和变介电常数式三种形式。其中，极距变化式可以用来测量微小位移量，变面积式可以测量转角或位移，而变介电常数式则常用来侧液位或料位。 2）变极距式电容位移传感器 由电容量计算公式： （4-2） 式中：－极板间介质的介电常数（F / m )；=8.85(1012为真空介电常数。 设电容器的介质为空气，极板间的初始问隙为，则，当间隙减小Δδ， 电容增加为 （4-3） 此式表明与Δδ不是线性关系，电容的相对变化 （4-4） 当1时，可将式（4-4）展开为级数： （4-5） 略去高次项 （4-6） 可见，输出电容的相对变化与输入位移Δδ之间的关系只有当1 ，略去各高次项后，才得近似的线性关系，所以在工作时，一般动极片不能在整个间隙范围内变化，而是限制在一个较小的Δδ范围内，以使ΔC与Δδ的关系近似于线性。 电容式传感器的灵敏度可用下式表示 （4-7） 它说明单位输入位移引起输出电容相对变化的大小。负号表示减小时C增大。一般变化都在1㎜以下。要提高灵敏度S，应减小起始间隙，但这受电容器击穿电压的限制，而且增加了装配加工的困难。 如果只计入式4-5中的第一、二项，则得 （4-8） 非线性将随相对位移增加而增加。因此，为了保证一定的线性度，应限制极板的相对位移量，若增大起始间隙，又将影响传感器的灵敏度。 为了提高灵敏度和改善非线性．可以采用差动式结构并可减小因受温度影响引起的不稳定性。 3）变面积式电容位移传感器 变面积式电容位移传感器如图所示。 角位移式电容传感器的转角变化所引起的电容量的改变值为： （4-9） 灵敏度为： （4-10） 直线位移式电容传感器，当动极板移动后两极间的电容： （4-11） 引起的电容量变化为： （4-12） 从而得出灵敏度为 （4-13） 由式上面的分析可见，变面积式电容传感器的输出特性是线性的，适合测量较大的位移，其灵敏度为常数，增大极板长度b，减小间隙δ（通常δ=0.2～0.5mm)，可使灵敏度提高。极板宽度a的大小不影响灵敏度，但也不能太小，否