晶圆级热电堆探测器测试技术的研究.pdfVIP

学兔兔 妇 晶圆级热电堆探测器测试技术的研究 ThewafbrIeveItestingresearch ofthe thermopile detector 叶雨欣’，焦斌斌’，孔延梅。，刘瑞文’，陈志强 YEYu—xin，JIAO Bin-bin。，KONGYah—mei，LIU Rui．wen’，CHENZhi—qiang (1．中国科学院微电子研究所，北京 lOO029：2．东北电力大学 自动化工程学院，吉林 132012； 3．昆山光微电子有限公司，昆山214028) 摘 要：MEMS热电堆红外探测器在消费电子、医疗保健、智能家居、工业等领域的应用越来越广泛， 其需求量也日益增加。因此如何降低器件的生产成本争取市场份额便成了器件生产商最关心 问题。当前MEMS热电堆红外探测器的测试成本占据了其总成本的一半以上。由于目前测试 技术及设备的限制 ，其测试基本都是由人工逐一完成 ，从而限制了其成本。针对这一产