晶圆传输机器人大臂的模态分析及其结构优化.pdfVIP

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  • 2017-05-11 发布于河南
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晶圆传输机器人大臂的模态分析及其结构优化.pdf

晶圆传输机器人大臂的模态分析及其结构优化

学兔兔 学兔兔 态,llpf(O--o。式(1)变为自由振动微分方程: 3 WTR大臂模态分析 ^f赴(t)+c缸(t)+Ku(t)=0 (2) 由于ANSYS的MechanicalAPDL的网格划分比较细 由于结构的阻尼较小,对其固有频率和振型的影响 致、功能较为完善但模态分析的其他操作较为繁琐,而 较为微弱,因此,求解结构的固有频率和振型时阻尼可 Workbench在进行模态分析的时候网格划分 比较粗糙却 以忽略不计,gPC=0。那么,式(1)就变为无阻尼 自由振 动微分方程 : 在施加载荷和约束,计算求解 以及结果输出,云图显示 Ma(t)+Ku(t)=0 (3) 等方面操作便捷,可靠性较高。因此,本文进行的模态 结构的自由振动为简谐振动,

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