显微镜自动对焦系统的设计.pdfVIP

学兔兔 第2期(总第195期) 机 械 工 程 与 自动 化 No．2 2016年 4月 MECHANICAI ENGINEERING 8L AUTOMATION Apr． 文章编号：1672-6413(2016)02—0181—03 显微镜自动对焦系统的设计米 张 强，王福明，郭彦青，孟烈钢 (中北大学机械与动力工程学院，山西 太原 030051) 摘要：针对显微镜手动调焦复杂，较难得到最佳状态下的图像的现状，提出了一种自动对焦系统。该系统既 可以实现X轴、y轴的单独运动，也可以实现x轴、y轴的联动控制，调焦电机控制检测平台Z方向的移 动以达到对焦的功能。该系统通过步进电机控制器进行精确控制，其X—y定位精度达到0．002 mm，对焦 定位精度为25 nm。通过大量实验，表明该系统能可靠运行，可为类似应用提供一定参考。 关键词：显微镜；自动对焦；运动控制；设计