激光微加工变焦系统的控制算法研究.pdfVIP

精密制造与 自动化 2010年第 1期 ；试验与研究30 ◇ ◇ 激光微加工变焦系统的控制算法研究 王 震 陈 涛 北京工业大学激光工程研究院 (100124) 摘 要 提出了一种应用于激光微加工的变焦系统控制的算法。综合利用插补算法和变焦方程，使变焦系统中各 运动镜头组获得相应的线性或非线性精确位移。并且控制运动镜头组以合理和稳定的速度移动。保证了通过掩模 板的准分子激光光斑的连续和稳定的变化。变焦系统可以不更换掩模板而刻蚀出大小连续变化，形状相似的复杂 结构。提高了准分子激光微加工的复杂度和分辨率。 关键词 激光微加工 变焦距系统控制 插补算法 变焦方程 微加工技术是MEMS中的一项关键技术，而激 各运动组份精准定位在最佳成像位置，从而实现高 光微加工法是其中的一种主要方法。激光微加工中 分辨率的激光加工 。 最常用的激光器是准分子激光器。这主要是因为准 本实验室设计的用于准分子激光微加工的变焦 分子激光波长处于紫外波段，单光子能量比较大， 系统，首先对连续变化的微流道边缘线条进行插补运 对于某些材料甚至可以直接将分子键打断，加工方 算，其次把插补运算的结果与投影光斑的尺寸对应起 式偏向于冷加工，并且加工的分辨率也较其它激光 来，再将投影光斑尺寸的变化与变焦距系统的倍率的 的分辨率高¨J。 变化对应起来，最后根据倍率的变化通过变焦方程计 准分子激光微加工的一个应用方向就是刻蚀微 算变焦系统中变焦组份相应的位移量和运动速度。工 流道生物芯片。通常微流道生物芯片都包括有主流 作原理如图l所示。 道和支流道，不同流道的宽度不尽相同。加工过程 加工同一线宽的微通道，变焦系统的变倍比保持 中就需要使用不同形状，不同尺寸的掩模。目前使 不变；加工线形变化的微流道，变焦系统的变倍比连 用的准分子激光微加工系统，采用置换不同焦距的 续改变使得准分子光斑的大小发生连续改变从而得 聚焦物镜的方法来解决变焦距的光学聚焦问题。当 到连续变化的微流道。 聚焦物镜固定后，只有通过更换掩模板来改变刻蚀 的线宽，以提高准分子激光的加工精度，制作出更 变 焦 系 统 改 变 加精细的微结构L3J。但是要得到结构较复杂，流道 掩 模 投 影 的 大 分布较多的芯片时，往往需要多次临时中断加工过 小 程更换掩模，从而保证刻蚀出的微通道的宽度和深 度准确。另外在激光波长一定的条件下，制作出更 加精细的掩模版是有一定难度的。变焦距物镜用于 准分子激光加工在技术上是一种突破 。在准分子投 影加工系统中，如果引入变焦物镜，就可以不更换 图1 变焦系统的工作原理 掩模板刻蚀出大小连续变化而形状相似的结构，提 高了微加工的效率和加工的复杂度。变焦系统中的 1 对微流道边缘线条的插补运算 光学系统和控制系统的性能直接决定了微加工的质 通常微流道的边缘线条是按一定规律变化的。 量。为了获得满意的成像质量，要求各运动镜组的 一 是线性变化，即连续变化的轮廓线条为直线；二 位移准确。精确稳定的控制系统能使光学系统中的 是按曲线规律变化，包括二次曲线，三次曲线甚至 9