X-RAY膜厚仪操作标准书.pdf

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X-RAY膜厚仪操作标准书

文件编号 Q/MS-012 版本 A/0 制作日期 2004-9-8 表:1/1 DPEC设备操作标准书 X-RAY膜厚仪操作标准书 制作 审核 批准 大连太平洋电子有限公司 制作部门 品质保证部 文件名称 X-RAY膜厚仪操作标准书 文件编号 Q/MS-012 版本 A/0 改:1/1 文 件 更 改 履 历 版本 作成年月日 更改内容 A/0 2004-9-8 初版发行 文件名称 X-RAY膜厚仪操作标准书 文件编号 Q/MS-012 版本 A/0 目:1/1 目 录 1. 适用范围 ………………………………………… 7-1 2. X--RAY膜厚仪的作用 …………………………… 7-1 3. 膜厚仪的开机操作 ……………………………… 7-1 4. 测试步骤 ………………………………………… 7-1 5. 测量调校标准片 ………………………………… 7-2 6. 调校 ……………………………………………… 7-3 7. 建立新的产品程式 ……………………………… 7-3 8. 删除记忆块 ……………………………………… 7-4 9. XYZ- 自动测量 …………………………………… 7-4 10. 关闭仪器 ………………………………………… 7-5 11. 仪器常见故障分析及处理 ……………………… 7-5 文件名称 X-RAY膜厚仪操作标准书 文件编号 Q/MS-012 版本 A/0 页:1/7 1. 适用范围 适用于德国 产的型号为XDVM-T7.1-W的X—RAY膜厚仪 的操作。 2. X-RAY膜厚仪的作用 利用X -RAY,测量印制板表面涂镀层厚度和合金材料组 分含量分析 3. 膜厚仪的开机操作 3.1 打开X—RAY膜厚仪后部的电源开关,让仪器进行自运转 3.2 打开计算机 3.3 打开文件 〈FTM 〉后出现“WinFTM”窗口 3.4 点击确定后进入测量模式 3.5 点击光谱图标进入光谱子程序 3.6 点击测量按钮,进行不间断测量,预热30分钟左右 3.7 点击退出按钮,退回测量模式 4. 测试步骤 4.1 产品程式的选择 4.1.1 点击左侧的 〈选择〉按钮,选出所需的产品程式 4.2 基准测量 4.2.1 将银铜标准片放在载物台上,并将光点对准标准片 4.2.2 用亮度调节按钮调好光亮度,按自动对焦按钮进行对焦 4.2.3 点击菜单中的 “一般(G )”选择其中的 “测量基准 (R )” 4.2.4 当出现一个“测量基准”的对话框后,点击“开始测量 基准 (S )” 4.2.5 出现“放入铜元 ”的对话框后,用操纵杆将光点对准 铜标准上 文件名称 X-RAY膜厚仪操作标准书 文件编号 Q/MS-012 版本 A/0

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