精密测量原理与技术-1.pdfVIP

精密测量原理与技术 一、精密测量的理论 二、现代精密测量技术 三、精密测量的基本原理 四、微纳三维表面测量技术 一、精密测量理论 1、概述 课程范围：工程领域的几何量测量，如长度、尺寸的测量 长度测量：单频激光干涉仪、双频激光干涉仪 尺寸：三坐标测量仪、圆度仪、直线度仪、表面形貌测量仪等 特点： 精度高，毫米→微米→纳米 涉及光学、机械、电子、信息、物理、化学等多种技术 意义： 精密加工、精密测量与控制是现代精密工程的三大支柱。 千分尺类量具：0.1mm；测微比较仪：1um左右； 圆度仪等精密测量仪器：0.1um；激光干涉仪：0.01um。 微加工领域： 目前半导体加工技术已达45纳米线宽，定位要求占线宽的1/3，就要 求15纳米量级的精度。 发展趋势: 1. 高精度：精度由微米级向纳米级发展，同时提高分辨率要求。 2. 高速度高效率：Renishow ML10激光干涉仪测量范围80m，测量 速度1m/s 、分辨率0.001 μm；点测量向面测量过渡。 3. 利用微制造技术、纳米技术、计算机技术、新材料等新技术， 研究智能化、集成化、标准化、小型化仪器。 4. 实现各种溯源的要求。如自标定、自校准，特别是纳米溯源问 题。———测量的可靠性 2、基本理论——测量误差 系统误差：数值符号和大小相对固定、或按一定规律变化的误 差。——标定 随机误差:误差的绝对值与符号均不定。 温度波动，测量力不恒定等。 粗大误差:超出在规定条件下预计的误差。 υ σ 3 3 σ准则： i 肖维勒准则：残余误差满足|vi|＞Zc σ，一般Zc3 P68.27% ±σ P 95.45% ±2σ P99.73% ±3σ 评定随机误差:极限误差 Δlim ±3σ ± =Δ χ χ ± 3 χ σ 3 limχ χ 2、基本理论——测量原则 减小原理误差 阿贝原则：在长度测量中，应将标准长度量(标准线)安放在被测长度量 (被测 线)的延长线上。 减小操作者带来的认为误差 基准统一原则：测量基准要与工艺基准和装配基准统一。 减小测量基准件及标准件的误差 最短测量链原则：应尽量减少测量链的组成环节，减小各环节的误差。 减小测量力引起的误差 最小变形原则：要求测量器具与被测零件之间的相对变形最小。 减小其他主客观因素造成的误差 封闭原则：判断系统误差 重复原则：判定测量结果可靠性和稳定性。 仪器的技术指标 基本技术指标 测量精度 测量范围