涡轮分子泵的结构及工作原理.docVIP

涡轮分子泵的结构和工作原理 应用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向活动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的映照，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能取得清洁的超高真空。涡轮分子泵普遍用于高能加速器、可控热核反响安装、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。 构造和工作原理 1958年，联邦德国的W.贝克初次提出有适用价值的涡轮分子泵，以后相继呈现了各种不同构造的分子泵，主要有立式和卧式两种,图1为立式涡轮分子泵的构造图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(普通为150～400米／秒)。单个叶轮的紧缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸根本相同,但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间坚持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自在旋转。 在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。在叶轮左侧(图3a),当气体分子抵达A点左近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一局部回到左侧，另一局部穿过叶片抵达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片抵达右侧。同理，在叶轮右侧(