四氯化硅利用：氯氢化技术最理想.pdfVIP

后插 1 四氯化硅利用 ：氯氢化技术最理想 陈维平 ，姚又省 (中国华陆工程有限公司 医药设计所，陕西 西安 710054) 近两年，采用改良西门子法技术建造大型多晶硅装置受到了国内投资者的热捧，但随着产生的多晶硅副 产物——四氯化硅的处置却成为多晶硅产业发展一道难以迈过的 “槛”，让多晶硅行业戴上了高污染的 “帽 子”。为此，国内外都在努力探索有效利用四氯化硅的理想途径。其中，氯氢化技术作为一条实现多晶硅产 业密闭循环的有效途径，开始得到越来越多业 内人士的认可。 “有效利用四氯化硅、减少环境污染是当前必须解决的首要问题。”这是国内多晶硅企业的共识。多晶 硅是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业最基础的功能性材料。随着上述产业的飞速发展，市 场上多晶硅资源极为紧缺，价格也一路飙升。目前我国在建、已建多晶硅规模已达9万t／a，这装置主要采用 改良西门子法技术。其主要反应机理是：三氯氢硅在氢气氛围下发生 自身氧化还原反应，生成多晶硅、四氯 化硅