光通信波段超高速PIN光电探测器的新进展_刘家洲.pdfVIP

22 4 　　　　 Vol.22 No.4 2001 8 Semiconductor Optoelectronics Aug.2001 :1001-5868(200 1)04-0227-06 PIN 刘家洲, 李爱珍, 张永刚 ( , 200050) 　:　对自20 世纪90 年代以来在InG As PIN 超高速光电探测器的研究上所取得的进展 进行了综述,介 了传统型的面入射光电探测器、波导型光电探测器、渐变耦合型光电探测器、小平 面折射型光电探测器、反射型光电探测器和单极型光电探测器等的新进展, 同时也介 了超高速光 电探测器封装结构。探讨了超高速光电探测器的发展趋势。 :　;;InG As :　TN364.2　　　:　A Recent Progressin Ultra-high-speedPINPhotodetector forOptical Communications LIU Ji -zhou, LI Ai-zhen, ZHANG Yong-g ng (State KeyLaboratory of Functional aterials forInformatics, ShanghaiInstitute of etallurgy, Chinese Academy of Sciences, Shanghai200050, China) Abstract:　The progress in rese rch nd development of InG As PIN ultr -high-speed PIN photodetectors in the l st dec de is summ rized.Adv nces in convention l surf ce-illumin ting photodetectors, w veguide photodetectors, ev nescently coupled w veguide photodetectors, refr cting- f cet photodetectors,mirror photodetectors, nd uni-tr velling-c rrier photodetectors re introduced, s w ell the structure of ultr -high-speed photodetector p ck ge.The outlook for the development of photodetectors is discussed . Keywords:　ultr -high-speed photodetector;compound semiconductor;InG As 1　 PIN 、 ;, , ; , ,、 [ 1, 2] (APD) 、--(MSM ) 。 [3, 4] 、PIN 。InG As 。 。 PIN , 2 　 , 1 InG As PIN 。, 。, , 。 :2001-01-18. , N :(. 　2　28　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2001 8 P , 。 , 。 、, 20 μm 。 。