工程陶瓷超精密加工技术的现状和发展趋势-天津大学研究生e-Learning.doc

工程陶瓷超精密加工技术的现状和发展趋势 柯志宏 天津大学机械学院机械工程专业2013级硕士生 摘要：本文介绍了工程陶瓷的国内外发展现状，阐述了几种超精密抛光工程陶瓷技术的原理，及影响加工质量的因素，简述了个别超精密加工技术的优缺点，并指出了工程陶瓷超精密加工技术发展趋势和方向。 关键词：工程陶瓷 超精密加工技术 抛光 0 前言* 工程陶瓷，又叫氮化硅陶瓷或高强度陶瓷，是以硅粉为原料，分别采用反应烧结和热压两种工艺方法制造而成。它几乎具备了现代陶瓷家族中的一切长处，强度一般都很高，具有极其优良的耐磨性和耐化学腐蚀，还是一种很好的电绝缘材料。 1 国内外发展现状 工程陶瓷的超精密加工技术是涉及到多门学科知识的融汇综合。目前，美国、英国及日本在这一方面出于国际领先地位。这些国家投入大量的人力、物力对工程陶瓷的超精密加工技术进行研究开发，寄予了极大的重视。由于掌握了先进的、较成熟的技术，其总体成套水平高，商品化程度也很高。超精密加工已经成为先进制造的发展趋势，而这些国家已经在用于声、光、图像、办公设备中的小型、超小型电子和光学零件的工程陶瓷元器件的超精密加工方面积累了很大的优势。尤其日本针对不同的工程陶瓷材料采用相应的超精密抛光方法，均获得了1nm以下的表面粗糙度，接近了原子级精度，且几乎没有加工变质层。 而近年来我国工程陶瓷的超精密抛光技术也获得了迅猛发展。北京机床研究所、航空精密机械研究所、长春光学机械研究所、哈尔滨工业大学、天津大学、清华大学、浙江工业大学等单位都进行了陶瓷材料的超精密抛光技术的研究，并取得了多项成果。但是工程陶瓷超精密抛光技术仍然处于探索阶段，无论是工程陶瓷本身的性能，还是它的加工技术，特别是超精密抛光技术的效率、表面质量、精度可靠性和技术配套性方面，与国外相比还存在相当大的差距，在一定程度上制约了其应用与发展。鉴于国内工程陶瓷的超精密抛光技术的发展还不完善，发展这项技术，特别对提高作为工程陶瓷最终加工手段的超精密抛光技术是十分必要的。 2 工程陶瓷的加工特性 大部分工程陶瓷是晶体材料或粉末烧结成形的，不能通过类似金属铸造或塑性加工的方法来成形。与普通金属材料相比，工程陶瓷具有弹性系数高、硬度高、加工变质层小、晶相稳定、耐腐蚀性好以及适合超精密平面加工等特点。因此，要制造出高精度、高表面质量的工程陶瓷元件，必须进行超精密加工。工程陶瓷材料因其结构的敏感性，经过表面加工后特性会降低。因此，在陶瓷加工中，不仅要保证高加工精度和生产率，更重要的是不损坏加工面的性能，特别是单晶材料，不能破坏其表面的结晶构造。对于作为小挠度使用的一般精密零件，从加工和使用的立场来看，陶瓷优于金属。由于金属与陶瓷在材料机械性能方面的不同，所以在加工陶瓷时不能照搬金属的加工技术。金属加工利用的是材料的塑性变形及破坏现象，而对陶瓷来说几乎没变形就达到了破坏应力，产生脆性破坏。若将加工单位减小至分子或原子级单位，这时材料的物理化学性能将支配着加工，就可能进行无损伤及塑性变形加工。 3 超精密抛光技术 超精密抛光是超精密加工方法中精度最高、表面加工质量最好的加工方法，因此超精密抛光通常作为工程陶瓷元器件基片的最终加工方法。由于各种工程陶瓷在性能和结构上的相异性，所以采用的抛光原理和方法也不完全相同。 3.1 抛光机理 由于抛光过程的复杂性和不可视性，往往是通过特定的实验条件下获得的实验结果来说明抛光的机理，到目前为止还难以形成一个完整的学说。对于脆性材料的抛光机理，归纳起来主要有如下解释：一般认为抛光是以磨粒的微小塑性切削生成切屑为主体而进行的，如图1所示。在切除过程中由于局部高温、高压而使工件与磨粒、加工液及抛光盘之间存在着直接的物理化学作用并在工件表面产生反应生成物。由于这些作用的持续进行，以及抛光液、磨粒及抛光盘的力学作用，生成物不断被除去而使表面平滑化。 图1 抛光机理模型 工件、磨粒、抛光盘和加工液等的不同组合，所起的抛光作用是各不相同的。工件与抛光液、磨料及抛光盘间的化学反应有助于抛光加工。例如，以化学活性溶液作加工液的化学机械抛光，就是一种重点提高加工质量的抛光方法。 3.2 影响抛光质量的因素 工程陶瓷的超精密抛光过程极其复杂，其影响因素很多，表1列出了影响和制约工程陶瓷超精密抛光质量的因素。对于经研磨后残留有加工变质层和微裂纹的工程陶瓷材料进行镜面超精密抛光时，必须确保具有超精密、高精度、高效率的加工条件。抛光速度、抛光压力、抛光液浓度是工程陶瓷超精密抛光的主要工艺参数。在抛光机、抛光盘和磨料选定的条件下，这些参数的确定是保证加工质量和加工效率的关键。 表1 影响工程陶瓷超精密抛光的因素 项目 内容 单面研磨，双面研磨 研磨法