一种LC谐振无线无源温度传感器的研究.pdfVIP

第26卷 第10期 传 感 技 术 学 报 V01．26 No．10 2013年 10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．20l3 Research on aW irelessPassiveTemperatureSensorofLC Resonant WANG Yuanchao，PENGBin ，HUANG Wulin (StateKeyl~boratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengd“610054，China) Abstract：Wirelesspassivesensorshavegreatpotentialapplicationsinindustry．A wirelesspassiveLCresonanttem— peraturesensorbased on ceramicwith high dielectric constantwasdesigned and prepared in thiswork．The characteristicsofthesensorhadbeenmeasuredunderdifferenttemperaturebywirelessinductorcoupling．The resultsshow thattheresonant~equency ofthewirelesspassive temperature sensoris 1．2 MHz，Theresonant ~equencyofthesensordecreaseslinearlywiththeincreasingoftheambienttemperature．Thetemperaturesensitivity ofthesensoris2．3kHz／~C．Temperaturedetection isrealizedwirelesslywith thesensor．Thedesigned sensoris suitableforworkinginharshenvironmentsofrtemperaturesensing． Keywords：wirelesspassivesensor；temperature；wirelessdetection；LC resonance EEACC：7110；7230 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2013．10．005 一 种 LC谐振无线无源温度传感器的研究冰 王渊朝，彭 斌 ，黄武林 (电子科技大学，电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都 610054) 摘 要：无线无源传感器在T业领域具有重要的应用。设计了一种基于高介电常数陶瓷基板的无线无源 ，Jc谐振温度传感 器，采用电感耦合的方式无线测试了传感器在不同温度下的特性。测试结果表明所制作的无线无源温度传感器谐振频率为 1．2MHz，随着温度的升高其谐振频率线性降低，灵敏度为2．3kHz／~C。制作的器件实现了非接触式的温度测量，可以在比较 恶劣的环境下使用。 关键词 ：无线无源传感器；温度；无线检测；LC谐振 中图分类号 ：TP212．1 文献标识码 ：A 文章编号：1004-1699(2013)10-1341-04 现代工业生产尤其是 自动化生产过程中，要用 Wang等人利用陶瓷电容和电感线圈构建了 c谐 各种传感器来监视和控制生产过程 中的各个参 振器件，实现了对温度的无线无源检测。然而其器 数llJ，传感器的应用使得生产信息的获取更加安全 件 由分立元件构成，难 以小型化。 可靠。目前监测系统中所使用的大部分传感器都是 本文采用陶瓷基板，将电感和电容集成在一个 有源有线传感器，需要由电源模块提供能量，这种方 陶瓷基片上，实现了集成的无线传感器。同时，在基 式存在着 电源更换麻烦和因测量系统体积和质量过 片