一种高性能MEMS气体流量传感器设计.pdfVIP

2014年第33卷 第2期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 77 一 种高性能MEMS气体流量传感器设计 李 辉，张持键 (安徽师范大学物理与电子信息学院。安徽芜湖241000) 摘 要 ：使用MEMS技术研制出一种高灵敏度热温差式流量传感器。器件采用热隔离性能良好的衬底挖 空结构，且热敏电阻器与热源距离可调，保证了系统的灵敏度和响应速度。同时热敏电阻器、加热电阻器 与电桥电阻器集成在传感器片内，提高了系统的稳定性。实验表明：合适的电阻器间距可以获得较高的灵 敏度，而在0~20mL／min的量程范围内系统线性度较好 ，因此，在生化检测、医疗等领域具有 良好的推广 前景。 关键词：气体流量传感器；MEMS；热温差原理；衬底挖空结构；灵敏度 中图分类号 ：TP212 文献标识码 ：A 文章编号：1000--9787(2014)02-0077-03 Design ofahighperformanceM EM S gasflow sensor LIHui，ZHANGChi-jian (SchoolofPhysicsandElectronicInformation，AnhuiNormalUniversity，Wuhu241000，China) Abstract：A high—sensitive，heattemperaturedifferencetypeflow sensorisresearchedandfabricatedbyusing MEMStechnology．Thedeviceadoptssubstratehollowedoutstructurewhichhasgoodheatisolationperformance， andthedistancebetweenthermalandheatingresistorscanbeadjusted，SOsensitivityandresponsespeedare ensured．Thethemr alandheatingresistorsareintegratedinthesensorwiththebridgeresistors，whichenhances system stability effectively．The experimentshowssuitable resistordistance can gain high sensitivity，and the system ownsgoodlinearityattheflow velocityrange of0 —20mL／min，SOthesensorhasexcellentpromotion prospectinbiochemicaldetectionandmedicalfields． ‘ 一 Keywords：gasflowsensor；MEMS；differentialbalorimetricprincip~le；substratehollowedoutsturcture；sensi— tivity 0 引 言 关注 。 流量测量是人类生产与生活的基本需求 ，相应的测量 本文将利用 MEMS技术加工制备微型气体流量传感 仪器和方法广泛应用于冶金 、化工、食品、医药及 民生等国 器；在设计中将采用有利于提高检测灵敏度的器件结构和 民经济的各个领域，在国民经济中占据重要的地位。目前 工艺材料，以及机械性能和密封性能良好的封装方法，使得