可选择型低值电容标准的研究.pdfVIP

学兔兔 第 52卷 第l2期 电测与仪表 V0I．52No．12 2015年 6月25日 ElectricalM easurement In~trumentation Jun．25．2015 可选择型低值 电容标准的研究术 张艳丽 ，迟洁茹 ，黄璐 ，LEERAEDUK ，齐福强 (1．青岛大学 自动化学院，山东青岛266071；2．中国计量科学研究院，北京 100029) 摘要：在电磁计量和仪器仪表行业中，通常需要高稳定电容标准器装置对仪器设备进行量值检定校准以确保它 们测量的准确性。可选择型低值电容就是一种可在同一系统中输出不同稳定微小电容值的标准器。针对该类 电容器最大不确定度来源之一，即屏蔽栅通孔的边缘效应，文中采用3-D电场仿真对其进行了深入研究分析， 同时依据仿真结果完成了一种可选择型低值电容标准器的整体结构设计，为其实际加工制作奠定了坚实的理 论基础 。 关键词：可选择型低值电容标准；3一D电场仿真；屏蔽栅；边缘效应 中图分类号：TM53 文献标识码 ：B 文章编号：1001—1390(2015)12—0046—06 Research onaselectablelow-valuecapacitancestandard ZhangYanli，ChiJieru，HuangLu，LEEREADUK ，QiFuqiang (，．CollegeofAutomationEngineering，QingdaoUniversity，Qingdao266071，Shandong，China． 2．NationalInstituteofMetrology，Beijing100029，China) Abstract：Inelectromagneticmetrologyandelectronicinstrumentation，thestablecapacitancestandardsincludingthe selectablelow—valuecapacitancestandard(SLCS)areusuallyrequiredforcalibratingtheinstrumentationsandmeters toensureitsmeasurementaccuracy．SLCSisakindofstandardequipmentwhichcanoutputdifferentstablesmallca- pacitancevaluesunderthesamesystem．Thispaperadoptsthe3一D electricalfieldsimulationsoftwaretoresearchon theedgeeffectaroundtheholeonthescreenshutterwhichisoneofthelargestuncertaintysourcesofrtheSLCS．On basisofthesimulationresults，theoverallmechanicalstructureforonekindofSLCShasbeendesigned，whichcan layasolidofundationofritsactualrealization． Keywords：selectablelow—valuecapacitancestandard，3一D electricalsimulation，screenshutter，edgeeffect 0 引 言 数高达 一1x10 ／℃一 一2x10 ／~C而不能应用于 三端 口型标准电容器 已经实现了名义值从