变耦型时栅位移传感器理论模型与误差研究.pdfVIP

学兔兔 第37卷 第3期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．37 No．3 2016年3月 Chinese Journal of Scientific Instrument Mar．2016 变耦型时栅位移传感器理论模型与误差研究米 鲁 进 ，陈锡侯 ，武 亮 ，汤其富 (1．重庆理工大学电子信息与自动化学院 重庆 400054；2．时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室 重庆 400054) 摘 要：针对现有高精度位移传感器栅距小导致对制造和使用环境要求苛刻的问题，提出一种采用高频时钟脉冲作为测量基 准，可在大极距条件下实现高精度、大量程直线位移测量的变耦型时栅位移传感器。传感器通过在交变电磁场中改变励磁线圈 和磁场拾取线圈的耦合状态建立以时间差反映位移变化的行波信号，实现精密位移测量。通过有限元分析软件对传感器进行 了建模和仿真，根据仿真结果得到传感器仿真模型的测量误差，并对其进行了谐波分析；根据误差特点和变化规律对主要误差 进行了溯源，并对模型进行了优化。根据优化模型制作了传感器实物，开展了验证实验。实验结果表明：根据仿真结果对传感 器进行优化设计，在200 mm的测量范围内，传感器精度达到-4-500 nm，且系统成本低廉，极易制造。为时栅位移传感器在恶劣 环境中的应用提供了解决方案和理论依据。 关键词：高精度测量；位移传感器；大量程；时栅；误差特性 中图分类号：TH7 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．40 Study on the theoretical model and error characteristics of variable coupling time grating displacement sensor Lu Jin 一，Chen Xihou ，Wu Liang ，Tang Qifu ( ．School of Electronic Information and Automation，Chongqing University of Technology，Chongqing 400054，China； 2．Chongqing Key Laboratory of Time—Grating Sensing and Advanced Testing Technology，Chongqing 400054，China) Abstract：Aiming at the problem that current high precision displacement sensors have stringent requirement on their manufacture and working environment due to small sensor grating pitch．a kind of variable coupling time grating displacement sensor employing high-fre— quency clock pulse as the measurement reference is proposed in this paper，which can achieve high precision，long range linear displace— ment measurement even under large sensor grating pitch condition．The sensor realizes high—precision measurement with the traveling— wave that maps the displacement to time interval，which is achieved by altering the coupling status of magnetic excitation coil and mag— netie field p