基于LVDT的光学器件相对位姿检测方法.pdfVIP

学兔兔 第32卷 第10期 仪 器 仪 表 学 报 V()1．32 NO．10 201 1年 10月 Chinese Journal of Scientific Instrument 0【·L 2Oll 基于LVDT的光学器件相对位姿检测方法木 马 立 ，欧阳航空 ，荣伟彬 ，何正峰 ，孙立宁 (1上海大学机电工程与自动化学院 上海 200072； 2哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室 哈尔滨 150080) 摘 要：针对光学精密装配工艺特点，提出一种基于LVDT的i维相对位姿检测方法。采用4个埘称分布的LVDT检测光学装 配过程中球面镜与谐振腔体的位姿关系，根据LVDT的读数推导得出球面镜与谐振腔体的相对位姿。设计采用集成信号调理 芯片AD598的LVDT处理电路作为位姿检测的控制系统，通过实验得出LVDT微位移检测的分辨率为0．1 Ixm，重复检测精度 为±0．3 m，并能较好地跟踪方波及正弦波信号。采用PID算法实现球面镜的快速位姿定位。实验结果表明：当球面镜的加 工及安装误差在允许范围内时，位姿检测系统可以在25 S内完成球面镜相对于谐振腔体的位姿调整，最大距离误差为0．5 m， 最大角度误差为8”，充分验证了基于LVDT相对位姿检测方法的可行性。 关键词：相对位姿检测；LVDT；光学装配 中图分类号：TP206 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．40 Relative position and attitude test method for optical elements utilizing LVDT Ma Li 一，Ouyang Hangkong ，Rong Weibin ，He Zhengfeng ，Sun Lining ( School of Mechanical and Electronic Engineering and Automation，Shanghai University，Shanghai 200072，China； 2 State Key Laboratory of Robotics and System，Harbin Institute of Technology，Harbin 150080，China) Abstract：A linear variable differential transformer(LVDT)is presented，which can measure 3 degree—of-freedom (DOF)position and attitude relations between a spherical milTor and a resonator in an optical assembly process． Four symmetrically distributed LVDT sensors are utilized to realize the position and attitude measurement．Position and attitude relations of the two optical elements are deduced according to the readings of the four LVDT sensors．A position and attitude test circuit is designed，which uses an integrated signal conditioning chip AD598．The design achieves a resolution of 0．1 p．m and repeatability of±0．3 Ixm．And the LVDT sensors can t