溶胶-凝胶法制备掺钛SnO2薄膜的气敏光学特性研究.pdfVIP

84 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2012年 第31卷 第2期 溶胶一凝胶法制备掺钛 SnO2薄膜的气敏光学特性研究 冯金垣 ，周壹义，邓健强 (华南理工大学 理学院，广东 广州510640) 摘 要 ：采用溶胶一凝胶 (sol—ge1)法制备掺钛 SnO 薄膜，通过制备过程中变化不同质量分数的钛掺杂来 制备3种不同质量分数(5％，10％，15％)的掺钛SnO 薄膜。在常温下对膜片在丙酮、甲烷气氛中进行气 敏光学特性测试。结果表明：掺钛SnO 薄膜在常温下对不同的测试气体具有不同的反应 ，并且薄膜的灵 敏度与掺杂量有关；质量分数为5％钛掺杂SnO。薄膜在丙酮气氛下的灵敏度在 1300-2500nm波长范围 保持在 l3％左右 ，而质量分数为 15％钛掺杂SnO，薄膜在甲烷气氛下的灵敏度在 1700-2300nm范围内 保持在7％左右。 关键词：溶胶一凝胶法；掺钛SnO。薄膜 ；丙酮气氛；甲烷气氛；反射率；灵敏度 中图分类号：O434；0657 文献标识码：A 文章编号 ：1000-9787(2012)02-0084--03 Studyongas-sensingopticalpropertiesofSnO2：Ti thin film preparedbysol—gelmethod FENGJin—yuan，ZHOU Yi-yi，DENG Jian—qiang (SchoolofScience，SouthChinaUniversityofTechnology，Guangzhou510640，China) Abstract：SnO2：Tithinfilm ispreparedbysol—gelmethod．SnO2：Tithinfilm ofthreedifferentmassfractions (5％ ，10％，15％)arepreparedduringthepreparationprocess．Thegas—sensingopticalpropertiesofthefilmin theacetoneatmosphereand methaneatmosphereareresearchedattheroom temperature．Theresultsshow that SnO2：Tithinfilm hasdifferentresponsesfordifferenttestgasandisrelatedtodopingquantities．Massfractionof 5％ SnO2：Tithinfilm intheacetoneatmosphereremainsat13％ attherangeof1300—2500nm wavelength． Massfraclionof15％ SnO2：Tithinfihninthemethaneatmosphereremainsaroud7％ attherangeof1700— 2300nmwavelength． Keywords：sol—gelmethod；SnO2：Tithinfilm ；acetoneatmosphere；methaneatmosphere；reflectivity；sensiti— vity 0 引 言 实验结果发现，薄膜对丙酮 、甲烷不同气氛有着明显的不同 SnO作为一种新型功能材料，具有熔点高、高温下不 反应，并且与钛掺杂量有很大关系。结果表明：掺钛 SnO， 易分解、化学性质稳定、不易与强酸强碱反应等许多独特的 薄膜在常温下实现气敏光学传感是可能的。 光学、电学及催化性能，被广泛用于半导体、太阳能电池 、气 1 溶胶一凝胶法制备掺钛 SnO：薄膜与测试方法 体传感器、液晶显示器、催化剂 以及光学技术等领域