单光源高精度正交十字形激光标定装置设计.pdfVIP

学兔兔 第 34卷 第 3期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．34No．3 2013年 3月 ChineseJournalofScientificInstrument Mar．20l3 单光源高精度正交十字形激光标定装置设计 安 源，钟 兴，贾学志，金 光 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033) 摘 要：为了满足特殊的标定需求，保证四路正交激光标定线光学一致性，分析了利用单一光源形成四路十字形激光的成形原 理，提出了利用柱面镜形成线光源结合分光棱镜多次分光和组合的方法，实现了单光源输出四向正交的激光十字形标定线，设计 了实现激光平行光输入的准直物镜，分析了输出的十字形激光特征，采用模块化的设计思想完成了光学元件支撑结构设计和装 调，并进行了主要指标的测试。测试表明，四路十字形激光的相互正交精度优于40，单路激光十字线长度在(50．1±0．1)mm范围 内，激光十字线的照度均匀，峰值半宽在0．1—0．2mm之间，可以满足高精度的测量及标定要求。 关键词 ：十字形激光 ；单激光源 ；正交 中图分类号：TH744．5 文献标识码 ：A 国家标准学科分类代码 ：4131040 Design ofhighprecision orthogonalcrosslaserdemarcation devicewith singlelaser AnYuan，ZhongXing，JiaXuezhi，JinGuang (ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Inordertomeetthespecialcalibrationrequirementsandensuretheuniformityoffourorthogonallaserlines， theformingprincipleofthecrosslaserlinesinfourdirectionsusingasinglelasersourceisanalyzed；andanew method isproposed，whichUSeScylindricalmirrorstoform laserlineandUSeSbeam splitterprism tosplitandcombinetherays． Theo~hogonal crosslasercalibrationlinesinfourdirectionswereachievedfrom singlelasersource；thecollimatinglens wasdesigned，whichachievesparallellaserinput；andthecharacteristicofoutputcrosslaserwasanalyzed．Thedesign andalignmentoftheopticalelementsupportstructureswereimplementedwithmodularizeddesign，andtheimportant parametersofthisinsturmentweretested．Thetestresultsshow thattheorthogonalelTOrs ofthecrosslasersinfourdi- rectionsarebetterthan40”，thelengtofcrosslaserlineisintherangeof(50．1±0．1)mm，theilluminationsofthela— sercrosslinesareuniform ，thehalfwidthofthelaserpeakisbetween0．1～ 0．2nlm．Th eperfomr ance