基于指数拟合的半导体瞬态热学测试分析方法.pdfVIP

学兔兔 第36卷 第11期 仪 器 仪 表 学 报 VoI．36 No．1l 2015年11月 Chinese Journal of Scientific Instrument NOV．2015 基于指数拟合的半导体瞬态热学测试分析方法术 杨连乔 。，陈 伟 ，阙秀福 ，张建华 (1．上海大学材料科学学院 上海 200072；2．上海大学机电工程与自动化学院 上海 200072； 3．上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室 上海 200072) 摘 要：根据瞬态热测试结果反推结构函数法的算法步骤通常包括数据拟合、平滑、求导、反卷积和网络结构转换，其中拟合和 平滑分两步实现。在后续数据处理中，由于实际的测试数据信号含有很多未知噪声，往往会导致病态或不适定问题，所以在获 得最终结构函数之前需要对测试数据进行去噪平滑处理。采用在原始数据理论数学模型基础上建立起来的利用最小二乘法拟 合进行的数据平滑方法，此方法既省去了测试数据因寄生误差而必须进行的拟合操作，又能对含噪瞬态响应数据进行平滑，从 理论建模分析和实际测试数据的分析及应用均可以看出该方法是有应用价值的。 关键词：结构函数；拟合；平滑；不适定问题 中图分类号：TN911．7 TH702 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．4030 Transient thermal analysis method of semiconductor based on exponential fitting Yang Lianqiao ，Chen Wei ，Que Xiufu ，Zhang Jianhua ， ( ．The School of Materials Science and Engineering，Shanghai University，Shanghai 200072，China； 2．the School of Mechanical and Electronic Engineering and Automation，Shanghai University，Shanghai 200072，China； 3．Key Laboratory of Ministry of Education of Advanced Display and System Applications，Shanghai University，Shanghai 200072，China) Abstract：Backstepping algorithm from the result of transient thermal measurement to structure function generally includes data fitting， smoothing，derivation，deconvolution and network structure conversion．Fitting and smooth are divided into two steps for implementation． Since the actual test data signal contains a lot of unknown noise，the seb sequent data processing often leads to ill—posed problem．Before getting the final structure functions，denoising is needed to test data．Denoising method of smoothing the data