基于音圈电机X—Y精密定位平台的控制系统设计.pdfVIP

第 9期 组 合 机 床 与 自动 化 加 工 技 术 NO．9 2013年 9月 M odularM achineTool AutomaticM anufacturingTechnique Sep．2013 文章编号 ：1001—2265(2O13)09—0073—04 基于音圈电机 x—Y精密定位平台的控制系统设计术 冷同同 ，靳 东 ，刘博峰 (1．山东大学 机械工程学院，济南 250061；2．上海交通大学 机械与动力工程学院，上海 200240) 摘要 ：针对由音 圈电机驱动的 x—Y精密定位平台系统 ，提 出了一种基于 S函数的实时离散傅里叶变 换 (DFT)算法来进行系统辨识 ，从而建立定位平 台的数学模型。基于系统数学模 型，采用混合灵敏 度优化的方法，设计了一种 H 鲁棒控制器。该控制器对模型的不确定性及外部干扰具有较好 的抑 制作用，从而能够很好地 改善 系统性能，并利用仿真及 实时控制 实验验证该控制算法的有效性。结 果表明该控制器较好的改善 了系统的动态特性 ，使其具有响应速度快、稳定性好 以及 良好 的抗干扰