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第五章压电式传感器 压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器压电式传感器可以测量最终能变换为力的各种物理量如力、压力、加速度等 优点压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。一、压电效应 压电效应某些晶体，在一定方向受到外力作用时，内部将产生极化现象，相应地在晶体的两个表面产生符号相反的电荷当外力作用除去时，又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变，这种现象称为压电效应。 具有压电效应的物质石英晶体、压电陶壁、压电半导体等。压电效应二、石英晶体的压电效应 石英晶体石英晶体是二氧化硅单晶，属于六角晶系。天然石英晶体的外形图图5-1为规则的六角棱柱体。石英晶体晶轴: 石英晶体晶轴:光轴z轴它与晶体的纵轴线方向一致电轴X轴它通过六面体相对的两个棱线垂直于光轴机械轴Y轴它垂直于两个相对的晶柱棱面。 晶体切片从晶体上沿XYZ轴线切下的一片平行六面体的薄片称为晶体切片。晶体切片机械轴Y轴晶体切片电轴X轴晶体切片光轴z轴纵向压电效应当沿着X轴对晶片施加力时，将在垂直于X轴的表面上产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。横向压电效应沿着Y轴施加力的作用时，电荷仍出现在与X轴垂直的表面上，这称 之为横向压电效应。当沿着Z轴方向受力时不产生压电效应。 晶体切块 ⑸、纵向压电效应产生的电荷为 (5-1) 式中qxx：为垂直于X轴平面上的电荷dxx：为轴向施加压力，在垂直于X轴平面上产生电荷时的压电系数下标的意义为产生电荷的面的轴向及施加作用力的轴向Fx：为沿晶轴X方向施加的压力。 由上式看出当晶片受到X向的压力作用时，垂直于X轴平面上的电荷qxx与沿晶轴X方向施加的压力Fx成正比而与晶片的几何尺寸无关。 作用力Fx改为拉力时则在垂直于X轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反。向压电效应产生的电荷为(5-2) 式中qxy：为Y轴向施加压力，在垂直于X轴平面上的电荷dxy：为Y轴向施加压力，在垂直于X轴平面上产生电荷时的压电系数Fy：为沿晶轴Y方向施加的压力。 晶体切片机械轴Y轴晶体切片电轴X轴晶体切片轴轴根据石英晶体的对称条件dxy=－dxx，得(5-3) 由上式可以看出沿机械轴方向向晶片施加压力时，产生的电荷与几何尺寸有关，式中的负号表示沿Y轴的压力产生的电荷与沿X轴施加压力所产生的电荷极性是相反的。 石英晶片受压力或拉力时，电荷的极性如图5-2所 1、X向应力--纵向压电效应 2、Y向应力—横向压电效应 图5-2石英晶片受压力或拉力时电荷的极性石英晶体在机械力的作用下表面产生电荷 ①、石英晶体的每一个晶体单元中，有三个硅离子和六个氧离子，正负离子分布在正六边形的顶角上，如图5-3a所示。当作用力为零时，正负电荷相互平衡，所以外部没有带电现象。 1、3、5、氧离子；2、4、6、硅离子 石英晶体在X-Y平面离子分布 X方向受力； Y方向受力 图5-3石英晶体的压电效应如果在X轴方向施加压力，如图5-3b所示，则氧离子挤入硅离子2和6间，而硅离子4挤入氧离子3和5之间，结果在表面A上出现正电荷，而在B表面上出现负电荷。如果所受的力为拉力时，在表面A和B上的电荷极性就与前面的情况正好相反。 如果沿Y轴方向施加压力时，则在表面A和B上呈现的极性如图5-3c所示。施加拉力时，电荷的极性与它相反。 若沿Z轴方向施加力的作用时，由于硅离子和氧离子是对称的平移，故在表面没有电荷出现，因而不产生压电效应。 三、压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷压电陶瓷是一种多晶铁电体，它是具有电畴结构的压电材料。电畴电畴是分子自发形成的区域，它有一定的极化方向。外电场作用时，各个电畴在晶体中元规则排列，它们的极化效应互相抵消。因此，在原始状态压电陶资呈现中性不具有压电效应。 在一定的温度条件下，对压电陶瓷进行极化处理，即以强电场使电畴规则排列，这时压电陶资就具有了压电性。在极化电场去除后，电畴基本上保持不变，留下了很强的剩余极化，见图5-4所示。 a)极化前b)极化c)极化后图5-4压电陶瓷的极化过程压电陶压电陶通常取它的极化方向为Z轴。当压电陶资在沿极化方向Z轴受力时，则在垂直于Z轴的表面上将会出现电荷见图5-5a其电荷量q与作用力 F成正比，即式中为纵向压电系数。轴向施加压力，在垂直于轴平面上产生电荷时的压电系数 ②、压电陶瓷在受到轴的作用力F时，如图5-5b所示垂直于Z轴的上下平面上分别出现正、负电荷即 式中， Ax为极化面面积Ay为受力面面积。dzy为压电系数。轴向施加压力，在垂直于轴平面上产生电荷时的压电系数 第二节、压电材料及压电元件的结构 一、压电材料 压电材料应考虑以下主要特性进行选择: 具有较