圆光栅精度及均匀性研究.pdfVIP

圆光栅精度及均匀性研 究 陈 林 — 圆光栅精度及均匀性研究 ’ 陈 林 冯伟 亭 摘要 国光橱 已经 普遥 用 于 高精 度 角度 仪器 作 为 定位基 准 , 然 而 要研 制 得 到 , , 匀 , 两 缺 一 不 可 , 文 究 到 超 高精度 团光橱 必 须要精度 高 均 性 好 者 本 研 达 二 者全优 。 关键词 团光橱 分度 误差 多圈法刻划 多圈法 在 正常情况 下刻光栅度 盘是蜗 轮转一 圈后完成光栅盘刻 划 , 而 多 圈法是蜗 轮 转 多 圈后刻 。 完一块光栅盘 , 多 圈法 的圈数必须是质数 , 而且 不是被刻划数 的因子 选用 的圈数越 多 , 每刻 一 圈 越 , 圈 差 减 , 又 因 圈平 误 作用增 加 , 以有利于 度 的 , 的时间 少 每 误 也相应 少 各 均 差 所 精 提高 但 。 圈数过多时棘轮棘爪无法分度 , 机床磨损也相应增加 如果为 了利用 多 圈法研 究刻 划 误差 的产 。 生原 因 , 可选用某种特殊 的圈数 , 使各 圈刻线 的排列 次序较有规律 , 以便于 研 究分析 我校研 , , 制 的 线 直径 必 的光栅 是采 用 蜗 轮 转 圈法 刻 成 的 线 数 。。条 直 径 必 。 。。 的光栅是采用蜗轮转 圈刻成 的 。 调整棘轮方法 以 为例 , 见表 表