材料分析教学课件-ZLM电子显微分析技术.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 电磁透镜成像 光学透镜成像时，物距L1、像距L2和焦距f三者之间满足如下关系： 电磁透镜成像时也可以应用上式。所不同的是，光学透镜的焦距是固定不变的，而电磁透镜的焦距是可变的。电磁透镜焦距f常用的近似公式为： 式中K是常数，Ur是经相对论校正的电子加速电压，（IN）是电磁透镜的激磁安匝数。 由式（1-9）可以发现，改变激磁电流可以方便地改变电磁透镜的焦距。而且电磁透镜的焦距总是正值，这意味着电磁透镜不存在凹透镜，只是凸透镜。 按式（1-3）最佳的光学透镜分辨率是波长的一半。对于电磁透镜来说，目前还远远没有达到分辨率是波长的一半。以日本电子JEM200F场发射透射电镜为例，其加速电压是200KV，若分辨率是波长的一半，那么它的分辨率应该是0.00125nm；实际上它的点分辨率是≤0.19nm，与理论分辨率相差约150多倍。 什么原因导致这样的结果呢？原来电磁透镜也和光学透镜一样，除了衍射效应对分辨率的影响外，还有像差对分辨率的影响。由于像差的存在，使得电磁透镜的分辨率低于理论值。电磁透镜的像差包括球差、像散和色差。 电磁透镜的像差及其对分辨率的影响 * 透镜的实际分辨本领除了与衍射效应有关以外，还与透镜的像差有关。  光学透镜，已经可以采用凸透镜和凹透镜的组合等办法来矫正像差，使之对分辨本领的影响远远小于衍射效应的影响; 但电子透镜只有会聚透镜，没有发散透镜，所以至今还没有找到一种能矫正球差的办法。这样，像差对电子透镜分辨本领的限制就不容忽略了。 * 像差分球差、像散、色差等，其中，球差是限制电子透镜分辨本领最主要的因素。 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。远轴的电子通过透镜是折射得比近轴电子要厉害的多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个满散圆斑。 球差的大小，可以用球差散射圆斑半径Rs和纵向球差ΔZs两个参量来衡量。前者是指在傍轴电子束形成的像平面(也称高斯像平面)上的散射圆斑的半径。后者是指傍轴电子束形成的像点和远轴电子束形成的像点间的纵向偏离距离。 * * ΔZs P * 轴线上的物点，也不可避免地要产生球差。  计算表明，在球差范围内距高斯像平面3/4ΔZs处的散射圆斑的半径最小，只有Rs/4。习惯上称它为最小截面圆。 考察球差对分辨本领的影响。如果计算分辨本领所在的平面为高斯平面，就把Rs定为两个大小相同的球差散射圆斑能被分辩的最小中心距。这时在试样上相应的两个物点间距为：  Δrs=Rs/M=Csα3式中，Cs为电磁透镜的球差系数，α为电磁透镜的孔径半角。 * 如果计算分辨本领的平面为最小截面圆所在平面，则  Δr’s=1/4 Csα3  从以上两式可以得知Δr’s或Δrs与球差系数Cs成正比，与孔径半角的立方成正比。也就是说球差系数越大，由球差决定的分辨本领越差，随着α的增大，分辨本领也急剧地下降。 * 当加速电压为 100 kV 及轴上磁场最大值H0=1.6×106A/m时，根据不同的假设求得的透射电镜理论分辨本领约为0.2-0.3nm，目前实际透射电子显微镜的点分辨率已接近于这个理论值。 二十世纪三十年代以来，一系列电子显微分析仪器相继出现并不断完善，这些仪器包括透射电子显微镜(简称透射电镜)，扫描电子显微镜(简称扫描电镜)和电子探针X射线显微镜分析仪(简称电子探针仪)等。利用这些仪器可以探测如形貌、成分和结构等材料微观尺度的各种信息。 No Fringe Un-corrected Corrected Si (111)Σ3 grain boundary TEM Cs Corrector β-Si3Ｎ4 2nm 2200FS + STEM Cs corrector 2nm STEM Cs Corrector Without Corrector (Cs:1.0 mm) DFI image 二、像散 像散是由透镜磁场的非旋转对称引起的像差。当极靴内孔不圆、上下极靴的轴线错位、制作极靴的磁性材料的材质不均以及极靴孔周围的局部污染等都会引起透镜的磁场产生椭圆