电沉积ZnSe薄膜的合成及性能表征.pdf

电沉积ZnSe 薄膜的合成及性能表征1 1 1 2 3 于兴芝 ，张成光 ，张成红 ，缪娟 1. 河南工业职业技术学院，河南南阳（473009 ） 2. 中国航天科工集团061基地302设计研究所，贵州贵阳（550009 ） 3. 河南理工大学，河南焦作（454010 ） E-mail ：chensmok@163.com 摘 要：首先，从理论上分析了硫酸锌和亚硒酸钠在简单酸性溶液中进行电化学共沉积制备 ZnSe薄膜的可行性；然后，在硫酸锌和亚硒酸钠的酸性柠檬酸钠电解液体系中进行ZnSe薄 膜生长条件系列实验，为了进一步研究电化学沉积参数对薄膜成分和形貌的影响，采用正交 试验方法，对pH值、离子的浓度比、电流密度、络合剂、温度等沉积参数进行了进一步详 细研究，得到了最佳电化学沉积参数；最后，用分光光度计、扫描电子显微镜(SEM)和X- 射线衍射仪(XRD)对薄膜的成分、形貌和结构进行分析和表征，表明该薄膜的化学计量比接 近1:1。 关键词：电沉积；ZnSe薄膜；沉积参数；正交试验；化学计量比 0. 引言 ZnSe 是重要的、优良的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料，在太阳能电池、通信、高分辨率的图像显 示、环境检测等诸多方面有着极为广阔的应用前景[1] 。电化学沉积ZnSe 薄膜材料的研究受 到国外的广泛重视，成为近来世界各国的研究热点[2,3,4]，国内的ZnSe 薄膜制备技术主要是 分子束外延（MBE ）和有机金属化学气相沉积（MOCVD ），这些技术都需要比较昂贵的设 备、较高的工艺成本和特殊甚至是有毒的原料，而电化学沉积具有设备和操作简单、成本廉 价、易于控制和大面积沉积等优点，因此采用电沉积制备ZnSe 薄膜有着重要的意义。对电 沉积制备 ZnSe 薄膜的工艺条件进行了系统地研究，优化了其沉积工艺参数，为制备 ZnSe 薄膜太阳能电池奠定了基础。 1. 电化学沉积ZnSe薄膜的原理 电化学共沉积制备ZnSe薄膜的关键问题是获得合适的化学计量比的薄膜，为了达到这 个目的，就必须在不同条件下进行电化学共沉积ZnSe薄膜的实验，寻找最佳的工艺参数， 而这些工艺参数因素往往随着温度、电流密度等条件的变化而变化。在电化学沉积中，沉积 [5]，即： 电位等于它的平衡电位与过电位之和 0 RT ϕ＝ϕ + lnα +η （1） nF 0 式中：ϕ——沉积电位或析出电位（V ），ϕ ——标准电极电位（V ），η——过电位（V ）， R ——气体 常数（8.315J/℃mol) ，T F ——绝对温度（K ），n ——参加电极反应的电子数， ——法拉 第常数，α——离子活度 在溶液中加入络合剂、添加剂等措施，有利于实现电化学共沉积[6] 。在硫酸锌和亚硒酸 钠在简单酸性溶液中，加入柠檬酸钠作络合剂，则电解液中锌离子以 − [ZnCit] 离子形式存 在，形成的络合离子[ZnCit]− 的电离度变小，络合离子[ZnCit]− 的稳定性增强，其平衡电 1本课题得到河南省自然科学基金项目（0511050200 ）的资助。 - 1 - - 1 -