三氯氢硅合成工艺及控制.pdf

2010年 l0月 云南冶金 Oct．20l0 第39卷第5期 (总第224期) YUNNAN METAI工URGY Vo1．39．No．5 (Sum224) 三氯氢硅合成工艺及控制 李文光，李光茜，罗 平，谭宗国 (昆明冶研新材料股份有限公司，云南 昆明 650031) 摘 要：介绍了三氯氢硅的基本性质、用途、生产工艺和生产设备，并针对生产过程的要求提出了控制解决 方案。 关键词 ：三氯氢硅；流化态沸腾炉 ；串级控制 ：比例控制 中图分类号：TQ219 文献标识码：A 文章编号：1006--0308(2010)05-0044--04 ProcessandControlofTrichl0rOsilaneSynthesis LIWen-guang，LIGuang—xi，LUO Ping，TAN Zong—guo (KunmingYeyanNew—MaterialCo．，Ltd．，Kunming，Yunnan650031，China) ABSTRACT：Thebasicproperties，application，productionprocessandfacilitiesoftrichlorosilanewereintroduced，andcontrol solutionswereputforwardtomeetthedemandintheproductionprocess． KEY WORDS：trichlorosilane；fluidizedbedfurnace；cascadecontrol；proportionalcontrol 三氯氢硅又称为三氯硅烷、三氯甲硅烷、硅氯 1 前 言 仿。纯净的三氯氢硅是无色或微黄色的透明可燃液 自2005年以来，随着全球新能源替代和我国 体，有强烈的刺激性。三氯氢硅沸点31．5℃，易 电子产业和太阳能光伏产业迅猛发展，多晶硅市场 挥发、易潮解 ，在空气中发生反应产生白烟，遇水 需求出现爆炸性增长，到2010年半导体多晶硅和 反应生产氯化氢气体，遇明火、高热时发生燃烧或 太阳能级多晶硅的总需求量将达到6．3万t 。目 爆炸，具有急性毒性f6J。三氯氢硅是制备多晶硅 前世界光伏产业 以31．2％的年平均增长率高速发 的重要原料，因带有氢键和含氯较多，可与其他有 展，居全球能源发 电市场增长率的首位，预计到 机基因反应生产形成一系列的有机硅产品 ，常 2030年光伏发电将占到世界发电总量的30％以上， 用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷 成为全球重要的能源支柱 。 目前在大规模多晶 的合成，是有机硅烷欧联剂中最基本的单体，也可 硅生产中，85％的生产厂采用改良西门子法来生产 与其他有机基因反应结合形成系列的硅偶联剂，硅 多晶硅，其主要的原料是三氯氢硅，每生产 1t多 偶联剂具有硅化合物耐热、疏水、绝缘等特性 。 晶硅 ，大约需要补充5～6t三氯氢硅。因此，研究 2．2 三氯氢硅合成工艺流程 三氯氢硅的生产工艺、生产设备、生产过程控制方 三氯氢硅合成一般采用硅氢氯化法：该方法是 案，具有十分重要的意义。 用冶金级硅粉作原料，与氯化氢气体反应，使用铜 或铁基催化剂 ，反应在280—320oC和0．05～3MPa 2 三氯氢硅合成生产工艺