原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
固相烧结反应法制备IGZO粉末
学兔兔
第 20卷第4期 粉末冶金材料科学与工程 2015年 8月
、，01_2ONO．4 M aterialsScienceandEngineeringofPowderM etallurgy Aug．2015
固相烧结反应法制备 IGZO粉末
孟 璇 一，陈敬超 1,2 贾清翠 一，杨 波1,2 庄 严 一，于 杰 ，
(1．昆明理工大学 稀贵及有色金属先进材料教育部重点实验室，昆明 650093；
2．云南省新材料制备与加工重点实验室，昆明 650093)
摘 要：以高纯度的 ZnO、In203和 Ga2O3等氧化物粉末为原料，经过球磨充分混合并细化后，采用固相烧结反
应法制备 IGZO(indiumgalliumzincoxide)粉末，利用x射线衍射(XRD)与扫描电镜(SEM)对该粉末的物相组成、
颗粒表面形貌与粒径等进行观察与分析，研究烧结温度、保温时间及球料质量比对 IGZO粉末形貌与结构的影响。
结果表明：在保温时间为6h的条件下，烧结温度为 1100℃时，Ga203和ZnO反应生成ZnGa2O4，所得粉末 以
ZnGa204相为主，仍有 I“2O3未发生反应：在 1200和 1300℃下烧结均可得到表面形貌不规则的InGaZnO4单相
粉末，1200℃下烧结的粉末粒径明显小于 1300℃烧结粉末的粒径。1200℃下烧结4h及 以上即可保证固相反
应完全，得到 InGaZnO4单相粉末。随球料质量 比增大，粉末颗粒细化。球料质量比为 10：1和 15：1条件下制备的
IGZO粉末粒径相近，但明显比球料质量 比为 5：1条件下制备的粉末更细。
关键词：IGZO粉末；固相烧结反应法；烧结温度；保温时间；球料质量比；形貌
中图分类号：TB34，TB332 文献标识码：A 文章编号：1673．0224(2015)4．590．05
IGZO powderspreparedbysolid·phasesinteringreaction
MENG Xuan一，CHEN Jing．chao 2JIAQing．cui2YANGBo 2ZHUANG Yan一，YU Jie，
， ， ，
(1．TheKeyLaboratoryofPrecious-nonferrousMetalsAdvancedMaterials，MinistryofEducationofChina，
KunmingUniversityofSciencenadTechnology,Kunming650093，China；
2．TheKeyLaboratoryofAdvancedMaterialsofYunnanProvince，Kunming650093，China)
Abstract：IGZO(Indiumgallium zincoxide)powderswerepreparedbysolid—phasesinteringreactionusinghighpuriyt
powdersofZnO，In203andGa203asraw materialsaccordingtoacertainmolarratioafterthecourseofballmilling．
Thenthepowderw
文档评论（0）