多晶硅生产系统内二氯二氢硅的产生与利用.pdf

2014年8月第4期 肖荣晖等 ：多晶硅生产系统 内二氯二氢硅 的产生与利用 ·47· 多晶硅生产系统内二氯二氢硅的产生与利用 肖荣晖，赵 雄 (中国思菲工程技术有限公司，北京 100038) [摘 要] 简单介绍 了二氯二氢硅 的生产方法 ，以 1000t多晶硅生产系统为例 ，计算 出还原工序 、四氯 化硅氢化工序 、三氯氢硅合成3-序 以及整个系统二氯二氢硅的生成量 ，对多晶硅 系统副产二氯二氢硅 的 利 用进行 了讨论 。 [关键词] 多晶硅 ；二氯二氢硅 ；生产 ；利用 [中图分类号] TQ127．2 [文献标志码] B [文章编号] 1672-6103(2014)04-0047-04 O 引言 1 二氯二氢硅的生产方法 二氯二氢硅是一种高附加值产 品，分子量 101， 目前二氯二氢硅的生产方法主要有三种 ：歧化 沸点 8．2oC，熔点 一122．0oC，常温下存储于高压罐 法、氯化法和氢化法 。其 中以歧化法最为成熟，国外 中，呈液化气体状态，25℃液体密度为 1250kg／m ， 多家多晶硅技术提供商 已经掌握此项技术 ，但 国内 极易水解 ，在空气中冒白烟，有盐酸气味，水分存在 相关研究较少 ，还没有成功运行的经验 。 下有极强的腐蚀性。二氯二氢硅主要应用在外延硅 1．1 歧化法 和多晶硅的生长、硅化钨等 的化学气相沉积及高性 三氯氢硅歧化法制备二氯二氢硅是 目前应用较 能太阳能电池等领域 。 广泛的方法，反应方程式为 ： 目前大多数多 晶硅生产企业都采用西 门子工 2SiHC13=SiC14+Sill2C12 (1) 艺 。此工艺 中的硅主要 由三氯氢硅和氢气的混合气 该反应为可逆 的 2级反应 ，活化 能为 36．03 在热载体上生长而成 ，但部分三氯氢硅并没有生成 kJ／otol，催化剂采用阴离子交换树脂 ，二氯二氢硅 的 多晶硅而是生成了四氯化硅和二氯二氢硅 。四氯化 生成主要取决于保留时间，而与催化剂粒度无关。 硅和二氯二氢硅都是副产品，如果不能循环利用 ，将 1．2 氯化法 使硅产品的生产成本显著提高 ，并存在一定的安全 歧化法中二氯二氢硅 的收率低 ，同时副产大量 环保 问题 。目前 ，四氯化硅的循环利用 已经通过冷 四氯化硅 ，因而不经济。Et本 Chisso公司提 出一种 氢化技术解决，即将四氯化硅 、硅粉和氢气在一定压 用复合催化剂使单质 si与 HC1反应制备二氯二氢 力和温度条件下转化成三氯氢硅 ；而二氯二氢硅的 硅的工艺 。该催化剂由Cu、一种电负性大于 1．9的 循环利用 目前还没有很好地解决。 金属和一种含氮化合物构成 ，为提高反应速度 ，使 si 与该复合催化剂预先混合或制成合金 ，然后使 HC1 气体通过填充有该催化剂的固定床 ，反应式如下 ： Si+2HC1=Sill2C12 (2) [作者简介]肖荣晖 (1968 )，男 ，湖南衡 阳人 ，大学本科 ，高工 ，从 PopenkoVF等人研究了HC1与用 cl活化的si 事多晶硅设计研究工作。 反应的热力学 ”，结果表 明，该反应体系 中同时存 [收稿 日期]2014—04—14 [修 回日期]2014—05—07