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微波烧结制备ITO靶材的工艺
学兔兔
第l6卷第3期 粉末冶金材料科学与工程 2011年6月
、，o1 16 No．3 Materials Science and Engineering of Powder Metallurgy Jun 2011
微波烧结制备ITO靶材的工艺
袁振 ，易健宏 ，孙本双2钟景明
(1．中南大学 粉末冶金国家重点实验室，长沙 410083；2．中色(宁夏)东方集团有限公司，石嘴【lJ 753000)
摘 要：采用单相ITO(indiumtinoxide，铟锡氧化物)复合粉末，经过压制成形后，在纯氧气氛1-微波烧结制备ITO
靶材，研究烧结温度、保温时间和压制压力等主要工艺参数对ITO靶材致密化的影响。结果表明：靶材的相对密
度随烧结温度升高而增大；在1 600℃烧结时，靶材的相对密度随保温时间增加先增大后减小，在保温1．5 h时相
对密度达到最大值(98．67％)，高温长时间烧结对ITO靶材的致密化不利。微波烧结的ITO靶材显微组织均匀，晶
粒尺寸较均匀，约为6～8 m。不同温度下制备的ITO靶材均无sn02相析出，仍是单一的固溶体相，不存在第
二相。
关键词：ITO靶材；微波烧结；相对密度
中图分类号：TF124．5；TB383 文献标识码：A 文章编号：1673。0224(2011)3-392—05
Technology of microwave sinterpreparing ITO targets
YUAN Zhen ，YI Jian．hong ，SUN Ben—shuang ，ZHONG Jing．ming
(1．State Key Laboratory ofPower Metallurgy,Central South University,Changsha 410083，China；
2．CNMC(Ningxia)Orient Group Limit Company,Shizuishan 753000，china)
Abstract：ITO targets were prepared by microwave sintering from single—phase ITO(indium tin oxide)powder in the
pure oxygen atmosphere．Sintering temperature，holding time and pressing pressure as a function of the microwave
sintering process parameters were researched systematically．The results indicate that the relative density of samples
increases with the increasing of the temperature．The relative density of samples increases then decreases with the time
increasing when sintered at 1 600℃．The relati
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