浅析大型高效反应器视镜的改造.pdfVIP

2010年 12月第 6期 浅析大型高效反应器视镜的改造——冯廷敏 汪绍芬 ·39· ’串 +‘ ‘寺 幸 ‘争 孛‘ ÷‘ ’÷ 。 ． ；设备节能 ‘ ． ÷ ．々 ．牵 ．夸 ．幸 ．々 ．幸 ．々 浅 析 大 型 高 效 反 应 器 视 镜 的 改 造 冯廷敏 汪绍芬 (中国恩菲工程技术有限公司硅材料事业部，河南 洛 阳471931) [摘 要] 本文主要针对多晶硅生产 中反应器的视镜 问题进行分析 ，从温度分布 、受力和结构等方面对反应器的 视镜进行讨论 ，主要解决反应器在运行过程 中由于循环热应力和结构应力 ，造成 的视镜焊缝拉裂 、泄漏 、视角范 围 小等相关 问题 。 [关键词] 热膨胀 ；应力 ；视镜 ；反应器 [中图分类号]TK511 [文献标识码]B [文章编号]1008—5122(2010)06—0039一O5 Discussion on Rec0nstructi0n ofLarge·scaleSightGlass ofReactorwith High Effi ciency FENG Ting—rain，W ANG Shao—fen Abstract：Thispapermainlyanalyzestheproblem ofsightglassofreactorintheproductionofpolycrys— talllnesilicon，anddiscussesthesightglassofreactorfrom theaspectsoftemperaturedistribution，stress， structure，etc．Thispapermainly solvestheweld crack，leak，smallvisualanglerangandotherrelated questionsduringoperatingprocessduetocirculatingthermalstressandstructuralstress． Keywords：heatexpansion；stress；sightglass；reactor 一 起经历一个循环 ，从 常温 开始 到 250～300℃左 0 前言 右 ，每经历一个周期 ，视镜都要经受一次循环应力的 反应器作为多晶硅生产的主要设备 ，一直以来 影响 ，这就对于视镜结构提出了更高的要求 ，特别是 都备受各生产厂家和相关研究部门的关注。反应器 在焊缝处 ，更容易出现被拉裂泄漏的现象，这在多晶 主要 由内筒 、夹套 、视镜、钟罩法兰、底盘和 电极组 硅生产中已经出现 ，如何在结构上做出改进 ，从而使 成 。鉴于文章篇幅有 限，本文主要讨论反应器 的视 受力更均匀 ，结构更优化 ，本文将就这一问题做详细 镜问题 。在实际生产中，视镜所起到的功效就是为 讨论 。 了观察反应器 内硅棒 的生成情况，从而通过调整工 艺参数 ，得到品质更高的多晶硅产品。 1 反应器视镜 内筒热应力分析 反应器 内的硅芯从 常温到被击 穿后被 电极加 针对某大型反应器视镜改造前后的结构的受力 热 ，在工艺气体环境 中慢慢生成 ，整个周期为 120h 状况做一个分析对 比，从 而对视镜受力状况有更加 左右。在这一个