节能精馏新技术在改良西门子法多晶硅生产中的应用.pdfVIP

2015年 1O月第 5期 节能精馏新技术在改良西门子法多晶硅生产中的应用——赵 雄 姜利霞 严大洲等 ．49． 夺 。÷ 争‘ 夺‘ ’夺 夺‘ 夺 ’夺 ‘ ． 2新能源 ； 争 ．辛．．寺．．争 ．÷．牵 ．争．争∥ ． 节 能 精 馏 新 技 术 在 改 良西 门子 法 多 晶硅 生 产 中 的应 用 赵 雄 姜利霞 严大洲 ， 万 烨 ， 杨永亮 (1．洛阳中硅高科技有限公司，河南 洛 阳471000；2．中国恩菲工程技术有限公司，北京 100038) [摘 要] 在西门子法多晶硅生产中，降低精馏能耗和提高精馏产品质量的方向主要是优化的工艺流程和高效的 分离技术。通过应用预热进料、优化塔组排列顺序、差压热耦合精馏技术及高效规整填料等方法，提高了操作稳定 性和产 品质量 ，降低 了能耗。 【关键词] 节能精馏新技术 ；高效分离技术 ；多晶硅 [中图分类号]TQ264．1 [文献标志码]A [文章编号]1008—5122(2015)05—0049—05 Application ofNew Energy-savingDistillationTechnology intheImprovedSiemensPoly-siliconProduction ZHAO Xiong，JIANGLi-xia，YAN Da—zhou，WANYe，YANG Yong—liang Abstract：Processoptimizationandefficientseparationtechnologyarethemaindirectionofreducingen— ergyconsumptionandimprovingdistillation productqualityin Siemenspoly—siliconproduction．Bypre— heatingthefeedmaterial，optimizingtheorderofthetowercolumngroup，employingdifferentialthermal couplingdistillationtechnologyandefficientpackingcolumnmethodsandothers，theoperationalstability andproductqualityisimproved，andtheenergyconsumptionisreduced． Keywords：new energy—savingdistillationtechnology；efficientseparationtechnology；poly—silicon 改良西 门子法是 目前全世界多晶硅生产企业应 法 回收、四氯化硅氢化等工序。在该工艺流程中，除 用最多的方法。我国的多晶硅生产也大多采用改良 三氯氢硅还原外 ，其它过程均涉及精馏工艺 ，所需的 西门子法。改 良西门子法生产多晶硅的最主要的中 精馏系统具有高 回流比和高理论板数特征。但是 ， 间产品为高纯三氯氢硅。三氯氢硅的纯度直接影响 目前 国内多晶硅生产中所用精馏技术与发达国家相 到多晶硅产品的纯度 ，三氯氢硅的提纯精馏是多晶 比仍存在差距 ，突出问题为能耗高和品质不稳定 ，且 硅生产 的关键环节…。 整个生产过程的气态污染物大多来源于精馏操作。 改良西门子法多晶硅生产工艺流程包括三氯氢 该技术环节已成为制约我国高品质多晶硅材料生产 硅合成 、三氯氢硅提纯、三氯氢硅还原、还原尾气干 的主要技术瓶颈之一 ，急需技术突破。