渗陶工艺规程.doc

渗陶工艺规程 一 工艺流程： 来料检查---清洗---装炉---抽真空---打弧---加入渗陶气氛---加热---保温---冷却---出炉 二 工艺要求及操作规程： 来料检查 来料应注明材质，数量。 来料应是上工序的合格环。 清洗 清洗介质采用汽油。 将活塞环浸入清洗介质，刷洗干净。 清洗时应注意除去活塞环上的切屑，并尽可能避免把棉丝等脏物粘附在活塞环上。 清洗后上架吹，凉干。 装炉 清洗后的活塞环必须等附着的汽油挥发干净后才可装炉。 活塞环均匀，整齐地摆放在阴极托板上，每筒之间的间距约40mm。 检查，确认装炉质量。 平稳地放下真空炉罩，关闭放弃阀门。 开机操作 打开总电源，打开控制台电源，打开供水系统，打开高频电源。 打开计算机电源，按下“强电控”按钮，打开控制箱电源，双击“世纪星运行系统”。 点击“用户注册”输入密码。 点击“选择工艺”。 自动运行操作 点击“自动运行”。 检查冷却水，润滑油，其应处于正确状态。 打开蝶阀。 打开机械泵。 打开罗茨泵。 打开温度控制开关。 等待压力。 打开电磁阀。 打开6V灯。 打开“1”号气瓶（氮气）。（气瓶压力0.5Pa时不得使用） 打开“1”号流量计。 打开9V灯. 打开11V灯. 打开高压。 打开“2”号气瓶（硅烷）。（气瓶压力0.5Pa时不得使用） 打开“2”号流量计。 打开“3”号气瓶（硼烷）。（气瓶压力0.5Pa时不得使用） 打开“3”号流量计。 渗陶 在渗陶过程中应认真观察设备各部位运转是否正常，若出现异常，应按“说明书”所述方法进行处理。该过程约需时7.5小时，到时自动停机。 关机操作 关闭温度控制。 关闭“2”号气瓶。 关闭“3”号气瓶。 关闭高压。 关闭11V灯。 关闭9V灯. 关闭6V灯. 关闭压力控制。 关闭“1”号气瓶。 等待压力。 关闭“2”号流量计。 关闭“3”号流量计。 关闭“1”号流量计。 关闭电磁阀。 关闭蝶阀。 关闭罗茨泵。 关闭机械泵。 退出系统。 关闭计算机电源。 关闭“强电控”。 关闭高频电源。 关闭供水系统。 关闭控制台电源。 关闭总电源。 出炉 待炉温降到80度以下时，打开总电源。 打开控制台电源“电源Ⅰ”“电源Ⅱ”。 打开“放气开关”。（将工作室充满气） 打开“升钟罩”开关，待钟罩升到位后关闭“升钟罩”开关。 将工件从炉中取出。 安全操作规程 设备所用的冷却水含盐量每公斤小于0.175g，出水口水温低于55℃，水流量要达到3M3/h。 保持好观察孔的清晰度，要及时更换观察孔上的防护玻璃。 炉内要保持良好的洁净状态，不得有过多的粉尘和油污。每班用干棉纱将上，极板和上，下钟罩内壁的表层积粉擦净。每两周要做一次彻底清洗工作，清洗时要将上、下极板取下，放到清水中泡至板结的粉尘脱落为止，也可用30%浓度的Na(OH)2溶液清除板结的粉尘。上、下钟罩内壁上的板结粉尘可用细砂打磨干净。 不得在设备上堆放共建，工具，或其他异物。每天要将设备和周边卫生打扫一遍，保证设备处在良好的工作环境中。 每天要检查机械泵，罗茨泵的油量和油质。发现油量不足时要及时补充，发现油质有问题的要及时更换。一般每隔两个月要更换一次油，罗茨泵的小油杯每个班都要加油。 升降机的丝杠，螺母及导管，每班工作前要点滴少许润滑油。 上钟罩最大旋转角度130度，旋转上钟时要注意观察，不得拉挤通七管和导线 未经清洗的工件不得进炉加工，以免造成炉内污染。加热必须在抽真空状态下进行，否则将加速加热丝的老化。 放气时，下温值必须低于80度。工作过程中严禁打开放气开关。 在放气过程中不得升钟罩，只有在炉内压力与大气压力相等时，才可升、降钟罩。严禁在下钟罩法兰盘端面上摆放工件或其他物品，以免划伤密封胶圈或法兰盘端面。 流量计使用15天要清洗一次，具体清洗步骤如下： 将流量计两端接卸下，用棉球将流量计内的粉尘擦干净，用丙酮将过滤网清洗干净。 用氮气吹去流量计内部的余粉，并将清洗后的过滤网吹干。将所有管路吹干净。 重新装好流量计和管路，打开(清洗开关)，用氮气反复冲洗流量计。