真空系统结构要领.docVIP

真空系統由許多不同的組件組合而成。如各種的閥、壓力計、腔體以及最重要的pump。 Base pressure : 一般指此真空系統能夠抽到的最低壓力。製程氣體尚未進腔體前 Process pressure : 指製程壓力。反應氣體進入腔體後，反應時所需維持的壓力。 Base pressure 會比 Process pressure 低。 閥門(Valve) : 在真空系統中用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的元件。 Soft valve : 細（慢）抽閥，防止壓差過大而起塵。腔體於大氣時，一般先用此閥抽。 Foreline Valve : 位於pump出氣口，真空異常時，開關速度及是否緊閉是保護pump的關鍵。同時管徑小，易積塵，需定期清洗保養測試。 Rough valve : 粗抽閥，當腔體真空較低時，絕對不能打開Gate Valve用分子pump抽真空。在確認Gate Valve 和 Foreline Valve關閉的情況下，開啟Rough Valve，抽腔體真空到300 mTorr以下。 Purge gas valve : 有些製程會產生大量粉塵，因pump底部有用於冷卻pump的冷卻盤，會致大量積塵於冷卻部分，用N2吹掃可減少這方面的影響，另外也作冷卻軸承等用途。 真空閥門有幾個典型的結構如 : 隔膜閥、真空球閥、真空蝶閥、插板閥、擋板閥